MTI气氛控制真空箱式炉耐高温带贯穿法兰 VBF-1200X-H8VBF-1200X-H8 是一款 紧凑型 真空炉。它配备了一个水平放置的 7.5 英寸 ID x 13.4 英寸长的石英管腔。安装了带阀门的水冷不锈钢真空法兰,通过涡轮泵实现高达 10 -5 Torr 的真空。它专为在真空或各种其他气体环境下煅烧或退火半导体晶片(最大 6 英寸)而设计,温度高达 1100°C。
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MTI气氛控制真空箱式炉耐高温带贯穿法兰 VBF-1200X-H8 特点介绍
VBF-1200X-H8 是一款 紧凑型 真空炉。它配备了一个水平放置的 7.5 英寸 ID x 13.4 英寸长的石英管腔。
安装了带阀门的水冷不锈钢真空法兰,通过涡轮泵实现高达 10 -5 Torr 的真空。
它专为在真空或各种其他气体环境下煅烧或退火半导体晶片(最大 6 英寸)而设计,温度高达 1100°C。它也可以用作真空钎焊炉。
MTI气氛控制真空箱式炉耐高温带贯穿法兰 VBF-1200X-H8 规格参数
电压:单相 208 - 240 VAC / 50/60Hz,(安装 20 A 断路器)
最大 3 千瓦。
注意:包含电源线但不包含插头。请自行安装插头,或点击图片下方的链接根据您所在国家或实验室的要求选择插头
工作温度 <= 1000 °C 持续
最高 1100 °C,< 30 分钟
温度均匀性: +/- 2 ° C
加热速率 最大20 ℃ /分钟
建议。10 ℃ /分钟
加热元件 高品质镍铬铝电阻丝
石英管和 有效加热
管尺寸: 8 英寸外径 x 7.5 英寸内径 x 13.4 英寸长。
加热区(石英管内):7.5 英寸内径 x 8.5 英寸深(7.6 升)
均匀温度区:中心位置直径 6 英寸 x 深度 3.5 英寸,温度变化范围为 +/- 5ºC
石英管可更换
真空法兰
不锈钢水冷法兰组件,带两个快速连接端口。所有密封件均由硅胶 O 形圈提供。
通过 1/4 英寸外径钻孔氧化铝管实现快速连接端口的多功能。