ULVAC DIS‑252 涡旋干式真空泵：洁净无油前级真空设备深度解析

干式无油真空技术对现代科研与工业的价值

传统油旋片真空泵依靠泵油实现密封，在运行过程中存在油蒸气返流风险，容易对真空腔体、样品造成油气污染，在分析仪器、材料制备、精密镀膜等对洁净度敏感的场景中，油污染会直接造成样品报废、实验数据失真。干式无油真空泵，以不使用真空泵油作为核心特征，从根源消除油返流问题，成为真空系统的优选前级配置。日本 ULVAC 爱发科 DIS‑252 属于两段式双绕涡旋干式真空泵，兼顾高极限真空、大抽速、低振动噪音的综合优势，广泛作为分子泵、氦质谱检漏仪、小型真空工艺设备的前级粗抽泵，是实验室与小型工业设备中应用十分普遍的中型干式真空获取单元。

两段式涡旋压缩核心工作原理

涡旋泵的核心排气机理，依靠动涡盘与定涡盘相互啮合形成密闭气腔完成气体压缩。DIS‑252 采用独特双绕涡旋结构，配置 1 个运动涡旋盘搭配两层固定涡旋盘，实现两级逐级压缩，气体从进气口进入，依次经过第一级、第二级涡旋腔持续压缩，最终从排气口排出至大气环境。电机驱动动涡盘做偏心圆周平动，涡旋盘之间不发生旋转摩擦，依靠精密的间隙控制完成气体密封，整套泵体内部不存在油液润滑介质，真正实现全干式排气。

两级压缩架构相比单级涡旋泵，可以获得更低极限压力，该机型极限真空可达 1.6Pa，同时具备大气压直接启动能力，不需要预抽辅助，设备开机就可以直接对常压腔体进行抽气，大幅简化真空系统管路设计。涡旋啮合运动方式本身运动平稳，没有往复式泵的剧烈冲击，从原理层面降低整机振动与运行噪音，适配对震动敏感的精密仪器配套工况。

整机硬件架构与模块化结构设计

DIS‑252 整机主要分为涡旋泵头单元、驱动电机单元、风冷散热单元、底座集成模块四大组成部分，整机重量 25kg，属于台式中型干泵，无需冷却水供给，依靠风冷散热，现场安装仅需供电和真空管路连接，降低配套基建要求，适合实验室台面、设备机箱内部集成安装。泵进气口采用 KF‑25 快卸法兰，排气口配置 KF‑16 接口，标准化真空法兰，便于快速拆装管路，也方便加装油雾过滤器、捕集器等后处理配件。

泵体配置运行计时表，可直观统计设备累计运行时长，运维人员可以根据计时读数规划保养周期，避免依靠经验判断维护时间造成保养过早或者维护滞后的问题。泵体预留有空气吹扫接口，在处理可凝蒸汽、容易析出粉尘气体工况时，可以接入吹扫干燥气体，抑制水汽、介质在涡旋腔内部凝结沉积，拓展设备对复杂工艺气体的适配能力。电机采用全封闭感应电机，防护等级适配车间、实验室普通环境，防尘防飞溅，能够支持长时间连续不间断运行，满足 24 小时工艺工况需求。

涡旋盘部件采用耐磨精密加工工艺，涡旋齿之间依靠微小间隙实现气体密封，没有金属直接接触摩擦，运行过程磨损量低，正常洁净工况下拥有很长的维护间隔。整套泵头模块化设计，后期保养可以独立拆装泵头组件，电机部分无需拆解，降低大修作业难度。

无油洁净真空带来的核心性能优势

油旋片泵最大隐患就是泵油返流，即便加装油挡，依然会有微量油蒸气向真空侧扩散，在有机材料、半导体样品、光学元件的真空处理过程，油气会附着样品表面，改变表面特性。DIS‑252 全干式结构，泵内部没有任何真空油，杜绝油蒸汽返流污染，保障腔体内部洁净度，输出无油真空环境，这也是该设备最核心的价值。

该机型 50Hz 工况抽速 250L/min，60Hz 条件抽速可达 300L/min，大抽速可以快速将腔体从大气压抽到前级真空区间，缩短系统抽气等待时间；极限压力 1.6Pa，能够很好匹配涡轮分子泵启动前级压力需求，是分子泵机组理想的粗抽设备。运行振动低，不会向相连真空腔体传递剧烈震动，适配扫描电镜、真空探针台这类对振动控制严格的精密分析设备。运行噪音水平优于同类往复干式泵，放置在实验室内不会产生强噪声干扰。

同时设备支持大气压直接启动，发生意外放气、腔体回到大气压时，泵无需停机复位，可以直接继续抽真空，工艺容错性更好。

典型应用场景，覆盖科研实验室与小型工业装备

在科研仪器配套领域，DIS‑252 大量作为涡轮分子泵的前级泵，配套真空镀膜机、扫描电镜、X 射线仪器、样品预处理真空台；同时作为氦质谱检漏仪配套粗抽泵，为检漏设备提供前级真空条件，广泛用于零部件密封性检测工作。

材料研发方向，用于真空脱气、真空烘烤预处理、溶剂挥发真空抽除，尤其适合不能接触油污染的高分子、薄膜、光学元器件样品处理。在小型工业设备中，用于真空吸附夹具、小型真空烧结、真空封装工艺的粗抽单元；也应用在分析实验室真空浓缩、溶剂抽除等流程。

需要明确，该机型主要处理洁净干燥空气、惰性气体；针对含有大量水汽、腐蚀性气体、固体粉尘的工况，必须配套前置捕集、过滤装置，并且启用吹扫接口通入干燥气体，避免水汽凝结、粉尘沉积在涡旋腔体内部，造成涡旋盘磨损卡滞。它定位为洁净工艺前级获取，并不适合直接抽取大量可凝性蒸汽与强腐蚀介质，必要时需要增加前置处理组件。

安装调试实操要点

设备摆放位置需要保证泵体四周通风空间，风冷散热依靠周边空气流通，周边不能堆放杂物堵塞散热风口，环境温度需要控制在 5‑40℃区间，不可放置密闭狭小柜子内运行，防止过热保护触发停机。管路连接，进气口管路尽量短而粗，减少管路流阻，发挥设备额定抽速；进气侧严禁安装截止阀，防止误关阀门造成泵入口封闭，引发设备故障。排气管路保持通畅，不要堵死排气口，排气不要接负压环境。

供电按照电机铭牌规格接线，确认电机转向符合标识，转向错误会丧失抽气能力。初次开机前确认计时表归零记录，记录初始运行时间，作为后续维护基准。如果需要使用空气吹扫功能，接入干燥洁净氮气，控制合适吹扫压力，不要超压通入。完成管路装配之后，需要对整套前级管路做检漏，管路泄漏会直接拉低系统可达到的极限真空。

日常运维保养以及故障规避方案

DIS‑252 虽无需更换真空泵油，但并非免维护设备，涡旋盘间隙密封，粉尘、凝结物堆积会改变间隙状态，造成真空性能下降。日常使用，首先做好进气端过滤防护，凡是工艺会产生粉尘、液滴的场景，必须加装前置过滤器、冷阱捕集器，阻挡污染物进入泵头内部。

依靠机身计时表记录运行时长，按照原厂周期开展保养。保养主要项目包含泵头拆解清洁涡旋盘、检查密封件、轴承状态。如果设备抽取过含蒸汽样品，停机之前需要通入干燥气体空载运行一段时间，把腔体内残留水汽吹扫排出，避免停机之后水汽在泵腔内部冷凝，腐蚀涡旋部件。

常见现象与排查：极限真空变差，优先排查管路泄漏、前置过滤器堵塞，其次考虑涡旋腔存在污染物沉积；抽速不足，检查管路是否存在压扁、堵塞；异常噪音振动，确认地脚安装平稳，判断是否异物进入泵头腔体。非专业人员不要随意拆解涡旋泵头，涡旋盘装配对偏心间隙精度要求，错误拆装会直接破坏性能，保养维修建议参考原厂手册或者联系技术支持。长期停机存放，保持泵腔干燥，进气口、排气口做好防尘封堵。

总结：干式前级泵对现代真空系统的意义

真空系统的性能上限，不单单取决于高真空主泵，前级粗抽泵的洁净度、抽速、极限压力、可靠性，直接决定整套系统的使用体验。ULVAC DIS‑252 两段涡旋干式真空泵，依靠无油设计解决油返污染痛点，平衡抽速、极限真空、振动噪音指标，风冷无需冷却水，安装部署便捷，成为科研仪器、小型真空工艺设备主流前级泵选型。

在越来越多样品对油气污染0容忍的今天，干式涡旋泵替代传统油旋片泵已经成为趋势。正确做好前端过滤、气体预处理、定期按小时数维护保养，DIS‑252 就可以长期稳定输出洁净前级真空，为分子泵机组、检漏设备、各类真空工艺提供稳定可靠粗抽能力。