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Ensinger用于CMP研磨环的未填充PPS管材料

Ensinger用于CMP研磨环的未填充PPS管材料

TECATRON CMP natural是一种未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),专门针对CMP研磨环应用而优化,因此是恩欣格半导体行业产品系列中的一员。TECATRON CMP natural材料具有的性能,相比标准PPS聚合物,在用作CMP研磨环时能减少微划痕和晶圆级缺陷。

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  • 更新时间:2024-06-13
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Ensinger用于CMP研磨环的未填充PPS管材料 特点介绍


TECATRON CMP natural是一种未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),专门针对CMP研磨环应用而优化,因此是恩欣格半导体行业产品系列中的一员。

TECATRON CMP natural材料具有的性能,相比标准PPS聚合物,在用作CMP研磨环时能减少微划痕和晶圆级缺陷。

材料选择的关键挑战是CMP研磨环材料性能的微小差异将影响衬垫凸起的形状。

这种改变将导致不同数量的衬垫碎片,并影响碎片夹带的程度,进而对CMP工艺的整体性能产生重大影响。

研究表明,TECATRON CMP在一定程度上磨损研磨垫,因此研磨垫粗糙度得到改善,从而提高了材料的去除率,同时也减少了缺陷。


Ensinger用于CMP研磨环的未填充PPS管材料 规格参数


与恩欣格所有半导体级材料一样,TECATRON CMP natural管材的生产符合半导体的精确复制要求 (也称为精确复制或CE),与工业级PPS相比,它的质量控制更为严格。

与标准工业级PPS塑料相比,额外的质量控制和措施降低了材料的杂质风险,改善了其内部应力和尺寸稳定性。

恩欣格公司不仅优化了材料特性,还开发了特殊管材尺寸,以便更好地适应CMP研磨环的典型尺寸,从而减少加工过程中的浪费和降低成本。

例如,与外径360/内径290毫米传统尺寸相比,使用外径350毫米/内径300毫米尺寸的管材可以节省27%的材料成本。


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