美国Entegris流通式压力传感器耐化学腐蚀 Entegris 4210/4250型压力 无论您的目的是自动化、过程控制还是安全,您的测量都必须干净、准确且可靠。为了满足半导体行业的需求,Entegris 将最新的电子传感器技术与高度清洁的材料相结合,生产出能够对工艺变化进行高度控制的先进产品。
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美国Entegris流通式压力传感器耐化学腐蚀 Entegris 4210/4250型 特点介绍
4210型
压力 无论您的目的是自动化、过程控制还是安全,您的测量都必须干净、准确且可靠。为了满足半导体行业的需求,
Entegris 将最新的电子传感器技术与高度清洁的材料相结合,生产出能够对工艺变化进行高度控制的先进产品。
在高纯度应用中可靠测量腐蚀性化学品和 CMP 浆料中的压力
所有装置在发货前均经过功能测试,精度为满量程的 1%
没有活动部件,也没有填充液,因此不会受到污染
4210 型采用流通式设计,可减少死体积并降低污染风险
接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®,适用于高纯度应用
行业标准 Flaretek® 连接减少了池化和占地面积。它还允许灵活的系统设计并且易于安装。
4250型
NT™ 压力传感器配有耐化学腐蚀的蓝宝石传感器,可测量负压和正压。
该传感器没有填充液或隔膜,在其他非金属传感器无法处理的情况下具有高度可靠性,精度为满量程的 1%。
氢氟酸和负压应用
使用耐化学腐蚀的蓝宝石压力传感器高精度、可靠地测量压力
监控过程条件可提高安全性和系统性能
发货前经过 100% 性能测试,精度为满量程的 1%
易于连接到电子显示/监控系统
无活动部件,无填充液,因此无污染
流通式设计最大限度地减少死体积并降低污染风险
美国Entegris流通式压力传感器耐化学腐蚀 Entegris 4210/4250型 规格参数