日本micro-granite超薄晶圆厚度测量装置

日本micro-granite超薄晶圆厚度测量装置
MicroGravite BG measure是一种将晶圆固定在基座上，从单面（上表面）照射红外线，通过测量表面反射光和背面内表面反射光的相位差来测定厚度的系统。由于可以将被测物体固定在基座上，即使是薄晶圆也可以进行测量。

产品型号：Real BG300
厂商性质：经销商
更新时间：2025-11-01
访问量：35

立即咨询

联系电话：13823182047

详细介绍

日本micro-granite超薄晶圆厚度测量装置
日本micro-granite超薄晶圆厚度测量装置
eal BG300型号是一种用于背磨后加工的多功能厚度测量设备。它使用硅传输位移传感器在不接触的情况下检测硅晶圆的厚度。通过高精度的X轴（左右轴）、Y轴（前后轴）和θ轴（旋转轴）读数，它测量X、Y和θ轴上的两条中心线，以及测量芯片之间的划线。它还能够使用螺旋向量测量Y轴和θ轴上整个表面的厚度。由于采用了硅传输位移传感器，Real BG300还能够测量带有固定背磨框架（保护膜/背磨带）的晶圆。请注意：为了测量厚度，该设备需要具有大约#2000网纹或更大粗糙度的镜面。eal BG300型号是一种用于背磨后加工的多功能厚度测量设备。它使用硅传输位移传感器在不接触的情况下检测硅晶圆的厚度。通过高精度的X轴（左右轴）、Y轴（前后轴）和θ轴（旋转轴）读数，它测量X、Y和θ轴上的两条中心线，以及测量芯片之间的划线。它还能够使用螺旋向量测量Y轴和θ轴上整个表面的厚度。由于采用了硅传输位移传感器，Real BG300还能够测量带有固定背磨框架（保护膜/背磨带）的晶圆。请注意：为了测量厚度，该设备需要具有大约#2000网纹或更大粗糙度的镜面。

留言询价

上一篇：Wafecom 300日本micro-granite无损裸晶圆平整度测定机
下一篇：Circle Master Long日本mitakaseiko精密零件横向真圆度测量机

日本micro-granite超薄晶圆厚度测量装置

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：