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日本NAS技研简易型微量金属污染回收装置

日本NAS技研简易型微量金属污染回收装置
可一次性回收硅晶圆表面及侧面附着的微量金属污染物。
回收夹具具备自清洗功能，可将人为污染风险降至低，并保持分析精度一致。
同样适用于化合物半导体晶圆。

  • 产品型号：SC-3100
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-11
  • 访  问  量：20
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详细介绍

日本NAS技研简易型微量金属污染回收装置
日本NAS技研简易型微量金属污染回收装置

  • 可一次性回收硅晶圆表面及侧面附着的微量金属污染物。
  • 回收夹具具备自清洗功能，可将人为污染风险降至低，并保持分析精度一致。
  • 同样适用于化合物半导体晶圆。


SC-3100
  • 可连接电脑，创建多种回收模式，从硅晶圆表面及侧面（倒角部）回收（取样）微量金属污染。
  • 几乎不需外部资源，也不占空间，导入门槛低。
  • 全程机械操作，无需操作员熟练技巧，任何人都能轻松取样。
  • 自动完成采样药液供给与夹具移动，相比 SC-2000 进一步降低操作者带来的污染风险。
SC-8150
  • 即使晶圆处于亲水状态也能回收污染，适用于非硅材质晶圆或经整体蚀刻后表面粗糙的晶圆。
  • 放宽对晶圆状态及采样药液种类的限制，也可回收重金属以外的离子等。
  • 传统疏水面采样同样支持。
SC-9100
  • 具备与 SC-8150 相同的亲水晶圆污染回收功能，支持非硅材质及粗糙表面晶圆。
  • 同样放宽药液与晶圆状态限制，可回收重金属以外的离子。
  • 传统疏水面采样亦可用。
  • 自动供给采样药液并移动夹具，相比 SC-8150 进一步减少操作者污染。

装置名SC-3100SC-8150SC-9100SC-9200
操作パソコン(※3)
対応ウェーハサイズ150、200、300mm
保持具の装着/脱着自動手動自動自動
サンプリング用薬液の供給自動手動自動自動
サンプリング用薬液の回収自動(※1)手動自動自動
基本回収パターンリング状、扇形、固定、半径、円弧
追加回収パターン(※1)側面、矩形、弓形
オリフラ処理(※2)リング状、固定半径、側面の回収パターンに付加


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