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日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置

日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置
可一次性回收硅晶圆表面及侧面附着的微量金属污染物。
回收夹具具备自清洗功能,可将人为污染风险降至低,并保持分析精度一致。
同样适用于化合物半导体晶圆。

  • 产品型号:SC系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-11-11
  • 访  问  量:21
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详细介绍

日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置
日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置

簡易型微量金属污染回收装置(SC系列)
SC-3100
  • 可连接电脑,创建多种回收模式,从硅晶圆表面及侧面(倒角部)回收(取样)微量金属污染。
  • 几乎不需外部资源,也不占空间,导入门槛低。
  • 全程机械操作,无需操作员熟练技巧,任何人都能轻松取样。
  • 自动完成采样药液供给与夹具移动,相比 SC-2000 进一步降低操作者带来的污染风险。
SC-8150
  • 即使晶圆处于亲水状态也能回收污染,适用于非硅材质晶圆或经整体蚀刻后表面粗糙的晶圆。
  • 放宽对晶圆状态及采样药液种类的限制,也可回收重金属以外的离子等。
  • 传统疏水面采样同样支持。
SC-9100
  • 具备与 SC-8150 相同的亲水晶圆污染回收功能,支持非硅材质及粗糙表面晶圆。
  • 同样放宽药液与晶圆状态限制,可回收重金属以外的离子。
  • 传统疏水面采样亦可用。
  • 自动供给采样药液并移动夹具,相比 SC-8150 进一步减少操作者污染。
  • 可一次性回收硅晶圆表面及侧面附着的微量金属污染物。
  • 回收夹具具备自清洗功能,可将人为污染风险降至低,并保持分析精度一致。
  • 同样适用于化合物半导体晶圆。
装置名SC-3100SC-8150SC-9100SC-9200
操作电脑(※3)
对应晶圆尺寸150、200、300毫米
保持具的佩戴/卸下自动手动自动自动
采样用药液的供给自动手动自动自动
采样用药液的回收自动(※1)手动自动自动
基本回收模式环形、扇形、固定、半径、圆弧
追加回收模式(※1)侧面、矩形、弓形
奥尔弗拉处理(※2)环形、固定半径、附加侧面回收模式


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