热门搜索:日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机






日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置可一次性回收硅晶圆表面及侧面附着的微量金属污染物。回收夹具具备自清洗功能,可将人为污染风险降至低,并保持分析精度一致。同样适用于化合物半导体晶圆。
产品型号:SC系列
厂商性质:经销商
更新时间:2025-11-11
访 问 量:21
立即咨询
联系电话:13823182047
日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置
日本NAS技研半导体晶圆金属污染物回收装置
| 装置名 | SC-3100 | SC-8150 | SC-9100 | SC-9200 | |||||
| 操作 | 电脑(※3) | ||||||||
| 对应晶圆尺寸 | 150、200、300毫米 | ||||||||
| 保持具的佩戴/卸下 | 自动 | 手动 | 自动 | 自动 | |||||
| 采样用药液的供给 | 自动 | 手动 | 自动 | 自动 | |||||
| 采样用药液的回收 | 自动(※1) | 手动 | 自动 | 自动 | |||||
| 基本回收模式 | 环形、扇形、固定、半径、圆弧 | ||||||||
| 追加回收模式(※1) | 侧面、矩形、弓形 | ||||||||
| 奥尔弗拉处理(※2) | 环形、固定半径、附加侧面回收模式 | ||||||||