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日本technomu非接触式晶圆薄膜厚度测量仪

日本technomu非接触式晶圆薄膜厚度测量仪
是一款集“非接触、高精度、自动判定、节省空间"于一体的新型薄膜厚度测量系统，特别适合12英寸以内晶圆及薄膜的全自动在线检测。

  • 产品型号：TTS3100
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-11
  • 访  问  量：29
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详细介绍

日本technomu非接触式晶圆薄膜厚度测量仪
日本technomu非接触式晶圆薄膜厚度测量仪

TTS3100 非接触精密厚度测量机
【功能概述】
采用光谱干涉式激光位移计，高精度测量晶圆厚度。
可分别测量硅基板上蒸镀树脂膜、PET 等薄膜厚度。
具备自动判定 OK/NG 的在线检查功能。
【主要特点】
  • 支持最大 12 英寸晶圆的高精度测厚
  • 高速测量，适合量产全检
  • 非接触，无损伤风险
  • 受材质影响极小
  • 适用范围广：晶圆、金属磨削件、透明玻璃等
  • 可预设判定阈值，自动输出 OK/NG
  • 支持全自动、半自动及按工件尺寸定制
【规格要点】
  • 测量范围：2 英寸 – 12 英寸以上
  • 测量方式：扫描式
  • 可用激光：光谱干涉、多激光同轴
  • 分辨率：最高 0.001 µm
专为薄膜/晶圆厚度测量设计的新型非接触测厚系统

✅ 主要特点

  • 专为薄膜厚度测量优化
  • 最大支持12英寸工件
  • 非接触测量，不会损伤工件表面
  • 搭载X轴与旋转轴平台，实现测量
  • 自动判定OK/NG，适合在线全检
  • 高精度且稳定性强
  • 可测蒸镀树脂膜、PET等多种薄膜
  • 基距（传感器间距）可调，适应狭小空间高精度测量
  • 结构紧凑，节省空间
  • 自动生成管理报表，便于质量追溯

✅ 应用示例

  • 晶圆、玻璃、金属研磨件表面薄膜厚度检测
  • 透明/镜面材料无损测厚
  • 量产线上自动判定合格品与不良品


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