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日本technomu玻璃基板非接触平面度测量系统

日本technomu玻璃基板非接触平面度测量系统
TFL2100 以“空气静压旋转扫描 + 花岗岩底座"为核心，用极低预算实现重型工件亚微米级平面度非接触全检，是金属板、玻璃、模具等行业的性价比利器。

  • 产品型号：TFL2100
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-11
  • 访  问  量：39
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详细介绍

日本technomu玻璃基板非接触平面度测量系统
日本technomu玻璃基板非接触平面度测量系统

利用激光位移传感器，在工件旋转的同时，以非接触方式高精度测量其表面高度方向的位移量，并通过专用软件进行2D/3D显示与分析。
适用于从薄到厚、从轻到重的各种工件。
【主要特点】
  • 低价实现高精度测量
  • 高速数据采集
  • 非接触，不会划伤被测物
  • 受工件材质影响极小
  • 可测量重型工件
  • 底座采用花岗岩，旋转轴采用空气静压主轴，实现惊人的面振精度
  • 图示机型可承载最大 φ800 mm、200 kg 的工件
  • 可根据工件定制测量台（欢迎咨询）
【规格】
  • 测量范围：2 英寸 – 12 英寸以上
  • 测量方式：旋转扫描式
  • 可用激光类型：三角测距、共焦、光谱干涉、多激光同轴
  • 分辨率：最高 0.001 µm
  • 旋转轴采用空气静压主轴（エアースピンドル），面振精度高
  • 花岗岩底座 + 空气轴承转台，长期稳定性好
  • 低价实现高精度：分辨率最高 0.001 µm
  • 非接触激光扫描，不伤工件；透明/镜面也可测
  • 可测重型工件 – 标准机型最大 φ800 mm、200 kg（可特注更大）
  • 高速数据采集，2-12 in 及以上全覆盖
  • 支持多种激光传感器（三角测距、共焦、光谱干涉、多激光同轴）
  • 可按工件形状定制治具、转台、扫描方式2. 典型应用
  • 树脂加工板、玻璃基板、陶瓷板的平面度测定
  • 金属板（不锈钢、铜、铝等）的平面度在线/离线检测
  • 大型模具、圆盘、法兰等重量级工件的平面度全检


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