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日本nikoha等离子体3E微波自动阻抗匹配器专为半导体成膜、刻蚀、热处理、离子注入等微波等离子体装置设计在负载变动时高速匹配，降低反射功率，提升整机效率
产品型号：3E TUNER厂商性质：经销商更新时间：2025-11-29访 问 量：8
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日本nikoha等离子体3E微波自动阻抗匹配器
日本nikoha等离子体3E微波自动阻抗匹配器
| 特点 | 说明 |
|---|---|
| 高功率自然空冷 | 5 kW 满载运行无需水冷，节省配管与维护 |
| 宽带覆盖 | 2400 – 2500 MHz 全波段兼容，中心 2450 MHz |
| 小型轻量化 | 长度 220 mm，重量 4 kg，可直接安装在现有波导段 |
| 宽范围匹配 | VSWR 1 – 10（全相位）≤2 s 拉至 ≤1.2 |
| 低功率也响应 | 几十瓦起即可开始调谐，适合工艺启辉阶段 |
| 控制一体化 | 控制电路内置，无需外置控制器；附 PC 专用软件，可远程设定、监控、位置记忆 |
| 长寿命设计 | 调谐机构 + 高功率器件降额使用，MTBF > 20 000 h |
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