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日本nikoha半导体等离子体CVD用微波电源本装置为微波等离子体CVD、微波ECR等离子体等半导体制造工艺中的微波电源。产品覆盖300 W至10 kW，具备高稳定性与低纹波特性。
产品型号：MKN-032厂商性质：经销商更新时间：2025-11-29访 问 量：11
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日本nikoha半导体等离子体CVD用微波电源
日本nikoha半导体等离子体CVD用微波电源
本装置为微波等离子体CVD、微波ECR等离子体等半导体制造工艺中的微波电源。产品覆盖300 W至10 kW，具备高稳定性与低纹波特性。
| 型式 | 频率 | 额定输出 | 所需电力 | 冷却方式 | 外形 W×D×H (mm) | 质量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MKN-032 | 2450 MHz | 120 W – 300 W | 1.3 kVA 单相 AC200 V | 电源+振荡部 强制空冷 | 480×500×199 | 25 kg |
| MKN-152-3S9 | 2450 MHz | 150 W – 1.5 kW | 3.1 kVA 单相 AC200 V | 电源+振荡部 强制空冷 | 480×550×199 | 40 kg |
| MKN-202-3S8 | 2450 MHz | 200 W – 2 kW | 5 kVA 3相 AC200 V | 电源强制空冷 + 振荡部水冷 | 电源 480×500×299 振荡部 300×310×280 | 电源 40 kg 振荡部 30 kg |
| MKN-302-3S | 2450 MHz | 500 W – 3 kW | 7 kVA 3相 AC200 V | 电源强制空冷 + 振荡部水冷 | 电源 480×600×409 振荡部 340×270×270 | 电源 68 kg 振荡部 20 kg |
| MKN-502-3S | 2450 MHz | 500 W – 5 kW | 11 kVA 3相 AC200 V | 电源强制空冷 + 振荡部水冷 | 电源 480×600×409 振荡部 370×270×270 | 电源 68 kg 振荡部 25 kg |
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