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晶圆曲翘零件磨损测量非接触式性状测定仪

晶圆曲翘零件磨损测量非接触式性状测定仪
PF-60 把“白光干涉的精度"与“触针式的速度"合二为一，非接触，是桌面级翘曲、磨损与微形状测量的高速解决方案。

  • 产品型号：PF-60
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-12-13
  • 访  问  量：14
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详细介绍

晶圆曲翘零件磨损测量非接触式性状测定仪
晶圆曲翘零件磨损测量非接触式性状测定仪

Scan-AF 功能实现“大范围 + 高速"测量！
凭借 Scan-AF（扫描自动对焦）与高精度自动 XY 平台，测量速度达到传统 index 方式的 50 倍，可在数十毫米视野内获得亚微米级精度，轻松完成：
  • 传统轮廓仪测不到的精密零件翘曲
  • 注塑件整体形状缺陷
  • 摩擦学磨损量与划痕定量评估
核心规格
  • 测量范围：XYZ 60 mm × 60 mm × 10 mm
  • 分辨率：XY 0.1 µm，Z 0.01 µm
  • 扫描速度：比点式 AF 提高 50 倍
  • 粗糙度算法：符合 ISO 25178/4287，标配 MitakaMap 软件
  • 主机尺寸：400 mm × 400 mm 桌面型，重量 31 kg
擅长测量案例
  1. HDD 悬架——轻触即变形的翘曲/扭曲
  2. IC 图形——大面积微细线路三维形貌
  3. 指纹——柔软样品非接触高精度成像
  4. 头发丝——捕捉微米级直径变化
  5. 金刚石磨粒——刃口圆弧、突起高度
  6. 车刀刀片——3D 显示、刃口粗糙度、断面尺寸
  7. 晶圆翘曲——整片弓形、波纹一次扫描
  8. 磨削振纹——面区域粗糙度自动计算
  9. 刹车片磨损——分割边缘/接触面/磨损面并输出载荷曲线
PF-60 把“白光干涉的精度"与“触针式的速度"合二为一，非接触，是桌面级翘曲、磨损与微形状测量的高速解决方案。


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