韩国PlayTG高纯度工艺加热型蒸汽在线过滤器

韩国PlayTG高纯度工艺加热型蒸汽在线过滤器
韩国PlayTG高纯度工艺加热型蒸汽在线过滤器

• HVFT（Heating Vapor Filter）（加热型蒸汽过滤器）
• 功能：在高温段对工艺蒸汽进行 9-log（99.9999999%） 级超微颗粒过滤，同时保持气体温度，防止冷凝与再次污染。
• 目标市场：半导体、显示、光伏及高纯化学品制程中需要 热蒸汽在线过滤 的环节（如扩散、外延、ALD、CVD 等）。

2. 核心结构与材质

• 过滤介质：PTFE 或多层 PTFE/全氟材质滤芯，孔径等级 0.003 µm 起。
• 热壳体：PFA/不锈钢电镀或抛光，内置 电加热套/筒式加热器；保温层外包硅胶或气凝胶。
• 密封件：全氟弹性体（FFKM）O-ring，金属离子析出 < 1 ppb。
• 接口：3/4″、1″ 法兰或 VCR 面密封，在线可换装滤芯（侧入或底入设计）。

3. 主要性能指标（行业通用范围，供参考）

4. 应用节点举例

1. Diffusion / Anneal：高温 N₂/O₂/H₂ 蒸汽过滤，避免炉管颗粒污染。
2. ALD 前驱体输送：对加热的 H₂O、NH₃、TEMAH 等蒸汽进行在线净化。
3. OLED / LCD 湿法刻蚀：高温有机胺或水蒸气过滤，减少 micro-defect。
4. 太阳能扩散炉：POCl₃ 或 BBr₃ 高温载气过滤，提升结均匀性。

5. 优势与维护

• 在线加热：壳体恒温，蒸汽不冷凝，颗粒不会因液滴二次携带。
• 侧端盖结构：可在设备待机降温段快速换芯，缩短 MTTR。
• 低金属/低颗粒析出：满足 SEMI F57 / F40 超纯化学兼容要求。
• 可选智能模块：RS-485/4-20 mA 温度与压差远程监控，接入厂务 FDC 系统。