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韩国PlayTG高精度全金属高纯度气体过滤器

韩国PlayTG高精度全金属高纯度气体过滤器
全金属气体过滤器
应用领域: 高纯度气体系统,主要用于半导体制造工艺
这个GFT系列气体过滤器专为半导体制造中的高纯度气体过滤而设计,具有高过滤精度(2.5纳米)和出色的耐高温高压性能

  • 产品型号:GFT系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-12-29
  • 访  问  量:8
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详细介绍

韩国PlayTG高精度全金属高纯度气体过滤器
韩国PlayTG高精度全金属高纯度气体过滤器

  • 产品名称: BIKAL™ GFT系列高纯度金属气体过滤器
  • 产品类型: 全金属气体过滤器
  • 应用领域: 高纯度气体系统,主要用于半导体制造工艺

主要特点与优势

  1. 全金属气体过滤器 - 采用全金属结构设计
  2. 耐腐蚀性和兼容性 - 优异的化学稳定性和材料兼容性
  3. 宽流量特性 - 适应不同流量需求
  4. 低压降高流量性能 - 在保证过滤效果的同时实现高流量、低压降

技术规格

材料规格

  • 过滤元件: 316L不锈钢
  • 外壳: 电解抛光316L不锈钢

操作条件

  • 入口压力: 20MPa (2900PSI) @ 20℃
  • 操作温度: 460℃

过滤性能

  • 去除精度: ≥0.0025μm(2.5纳米)
  • 颗粒截留率: 99.9999999%(9 LRV)- 可去除所有颗粒
  • 氦气泄漏率: 1×10⁻⁹cc/sec
  • 内表面光洁度: ≤5.00 μin Ra

产品型号与配置

提供了多种型号的详细尺寸参数:
V系列型号
  • GFTV4D25L84, GFTV4D25L128
  • GFTV4D38L84, GFTV4D38L108
  • GFTV8D38L86, GFTV8D38L110
SW系列型号
  • GFTSW6D25L75, GFTSW6D25L120


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