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韩国PlayTG半导体高纯度气体输送扩散器DF 系列扩散器通过多孔金属烧结滤芯将高速气流瞬间分散成低速、均匀、低湍流的气体云，从而显著降低颗粒产生和压力冲击，是半导体厂高产出、低缺陷率的关键部件之一。
产品型号：DF系列厂商性质：经销商更新时间：2025-12-29访 问 量：9
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韩国PlayTG半导体高纯度气体输送扩散器
韩国PlayTG半导体高纯度气体输送扩散器
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 润湿材料 | 316L EP 管 + 316L 不锈钢烧结滤芯 |
| 表面处理 | 内部 Ra ≤5 μin（电解抛光） |
| 工作压力 | 1 MPa（@20 ℃） |
| 工作温度 | 200 ℃ |
| 过滤/扩散等级 | ≥0.003 µm，9 LRV（99.9999999 %） |
| 氦泄漏率 | 1×10⁻⁹ cc/sec |
| 接口类型 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR 或 SWG 可选 |
| 型号 | A | B | C | D | E | 接口 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DFV4-025-84 | 84 | 42.5 | 25.4 | 16 | 17 | 1/4" VCR |
| DFV4-038-84 | 84 | 44.6 | 38.1 | 23.8 | 17 | 3/8" VCR |
| DFV8-038-110 | 110 | 67.3 | 38.1 | 23.8 | 23.8 | 1/2" VCR |
DF 系列扩散器通过多孔金属烧结滤芯将高速气流瞬间分散成低速、均匀、低湍流的气体云，从而显著降低颗粒产生和压力冲击，是半导体厂高产出、低缺陷率的关键部件之一。
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