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韩国PlayTG亚微米级颗粒气体过滤器

韩国PlayTG亚微米级颗粒气体过滤器
IGS（Integrated Gas System）专用气体过滤器
半导体和显示制造工艺中的集成气体系统

  • 产品型号：IGF系列
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-12-29
  • 访  问  量：8
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详细介绍

韩国PlayTG亚微米级颗粒气体过滤器
韩国PlayTG亚微米级颗粒气体过滤器

  • 产品名称: BIKAL™ IGF系列高纯度气体过滤器
  • 产品类型: IGS（Integrated Gas System）专用气体过滤器
  • 应用领域: 半导体和显示制造工艺中的集成气体系统

主要特点与优势

  1. 专为IGS系统设计 - 针对集成气体系统的特殊要求优化
  2. 超高纯度过滤 - 确保气体纯净度满足半导体工艺要求
  3. 紧凑设计 - 适合空间受限的IGS安装环境
  4. 高可靠性 - 保证长期稳定的过滤性能

技术规格

材料规格

  • 过滤元件: 采用高纯度材料制造
  • 外壳: 316L不锈钢，表面电解抛光处理

过滤性能

  • 去除精度: 亚微米级颗粒过滤
  • 颗粒截留率: 99.9999999%（9 LRV）级别
  • 氦气泄漏率: 1×10⁻⁹cc/sec

操作条件

  • 温度范围: 适用于半导体工艺温度要求
  • 压力范围: 满足IGS系统工作压力需求

设计特点

  • 专门针对半导体制造中的气体输送系统设计
  • 提供超高纯度的气体过滤解决方案
  • 确保工艺气体的洁净度和稳定性


IGF系列过滤器是PlayTG专门为半导体制造中的集成气体系统（IGS）开发的高性能过滤产品IGF系列过滤器是PlayTG专门为半导体制造中的集成气体系统（IGS）开发的高性能过滤产品

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