日本shinnetsu半导体液晶成膜工艺用加热器

日本shinnetsu半导体液晶成膜工艺用加热器
日本shinnetsu半导体液晶成膜工艺用加热器

主要特点

1. 多样化加热器选择

• 可根据板材材质、加工方法、温度、容量等参数选择适合的原创加热器
• 可选加热器类型包括：
• 护套加热器（シーズヒーター）
• 细径护套加热器（細径シーズヒーター）
• 筒式加热器（カートリッジヒーター）等

2. 电气安全性能

• 各种加热器都进行了电气绝缘处理
• 可直接进行加热操作

3. 耐用性和可靠性

• 优异的抗振动、抗冲击性能
• 发热线不易氧化，使用寿命长
• 通过表面处理技术，具有优异的气体耐腐蚀性

主要应用领域

• 半导体设备：各种成膜装置用加热器
• 液晶设备：各种成膜装置用加热器
• 工艺热源：各种工艺过程的热源用加热器

这类产品主要应用于半导体制造设备中的各种加热工艺，如CVD、PVD等成膜工艺，以及液晶面板制造过程中的热处理工艺。

半導体・液晶用ヒーターの特徴

• プレート材質、加工方法、温度、容量などにより当社オリジナルヒーターを選定することが可能。
  (シーズヒーター、細径シーズヒーター、カートリッジヒーター等）

• 各種ヒーターは電気的に絶縁されており、直接加熱が可能。

• 各種ヒーターは振動、衝撃に優れ、発が酸化されにくいために長寿命です。

• 表面処理を行うことでガスによる耐腐食性に優れています。

半導体・液晶用ヒーターの用途

• 半導体装置各種成膜装置用ヒーター

• 液晶装置各種成膜装置用ヒーター

• 各種プロセス熱源用ヒーター