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日本KAGATECHNO刻蚀光刻胶剥离在线加热器热效率高，实现长寿命在线加热，高洁净度，接液部为高纯度石英玻璃，无金属离子溶出，不影响半导体器件
产品型号：厂商性质：经销商更新时间：2026-02-06访 问 量：11
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日本KAGATECHNO刻蚀光刻胶剥离在线加热器
日本KAGATECHNO刻蚀光刻胶剥离在线加热器
| 特点 | 详细说明 |
|---|---|
| 耐久性 | 尤其在氮化物蚀刻（Nitride Etching）和SC-1清洗工艺中表现出众的长寿命实绩 |
| 加热元件 | 采用Inconel（英科奈尔/镍铬铁合金）加热器，解决传统空烧断线和气泡积聚断线问题 |
| 高效加热 | 热效率高，实现长寿命在线加热 |
| 结构优势 | 网目状加热元件直接粘合在石英筒外表面，无剥离、无缝隙、无断线风险 |
| 高洁净度 | 接液部为高纯度石英玻璃，无金属离子溶出，不影响半导体器件 |
| 无积液设计 | 结构简单，无液体滞留死角 |
| 阻燃外壳 | 采用阻燃性优异的FrPP（自熄性聚丙烯） |
| 安全保护 | 配备Inconel加热器温度检测的过热防止安全机构 |
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 加热器功率 | 2.2kW / 4.4kW / 6.5kW |
| 电源 | 单相200V |
| 使用温度范围 | 室温～160℃ |
| 适用药液 | 氨水过氧化氢混合物（SC-1）、磷酸等 |
| 连接方式 | 3/4英寸 石英扩口接头（Flare Fitting） |
| 工艺环节 | 具体应用 |
|---|---|
| 清洗工艺 | 扩散前处理等 |
| 蚀刻工艺 | 氮化物蚀刻（Nitride Etching） |
| 剥离工艺 | 光刻胶（Resist）剥离 |
| 其他 | 各种精密清洗工艺 |
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