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日本ekusa无污染光刻胶剥离液药液加热器所有与液体接触部件均采用PFA（全氟烷氧基树脂）无杂质溶出：确保药液纯度不受污染低温加热器设计：不会导致药液劣化耐碱性：对碱性药液也具有优异的耐腐蚀性，不会劣化
产品型号：ECN-60P厂商性质：经销商更新时间：2026-02-07访 问 量：10
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日本ekusa无污染光刻胶剥离液药液加热器
日本ekusa无污染光刻胶剥离液药液加热器
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ECN型 |
| 用途 | 半导体药液清洗装置在线加热 |
| 接液部材质 | 全PFA |
| 使用压力 | 0.4MPa |
| 使用温度 | 80°C（标准）/ 120°C（特殊规格） |
| 加热器类型 | 低温设计 |
| 安全功能 | 过热报警传感器、漏水传感器 |
| 急停温升 | 约10°C |
| 尺寸 | 超紧凑型 |
| 控制方式 | 可兼容现有电气控制系统 |
| 维度 | 核心价值 |
|---|---|
| 材料纯度 | 全PFA接液部，无金属离子污染 |
| 化学兼容性 | 耐碱性药液，无劣化 |
| 温度范围 | 标准80°C，可扩展至120°C |
| 安全设计 | 双传感器监控（过热+漏水），急停低升温 |
| 运行可靠性 | 0.4MPa耐压，抗流动波动 |
| 维护成本 | 加热器免更换，几乎零维护 |
| 安装便利 | 超紧凑设计，节省空间 |
| 系统兼容 | 可利用现有控制系统 |
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