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日本ekusa超纯水 酸碱溶液 药液PFA加热器

日本ekusa超纯水 酸碱溶液 药液PFA加热器
这是一款采用卧式圆筒形容器设计的在线加热器,适用于半导体和电子制造中的药液加热应用。

  • 产品型号:EXS20
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-02-07
  • 访  问  量:10
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详细介绍

日本ekusa超纯水 酸碱溶液 药液PFA加热器

日本ekusa超纯水 酸碱溶液 药液PFA加热器

EXS型药液加热器 是Ekusa公司氟树脂制加热器产品线中的一款。这是一款采用卧式圆筒形容器设计的在线加热器,适用于半导体和电子制造中的药液加热应用。

产品结构特点

特征说明
材质全氟树脂(PFA/PTFE)结构,白色外观
结构形式卧式圆筒形容器,两端支撑固定
管路连接进出液口采用PFA管连接(蓝色接头)
加热方式内置低温设计加热器
安装方式底部支架固定,水平安装
电气连接侧面导线引出

典型应用场景

  • 半导体湿法工艺:SC-1、SC-2、SPM等清洗液加热
  • 刻蚀工艺:各种刻蚀液恒温控制
  • 剥离工艺:光刻胶剥离液加热
  • 显影工艺:显影液温度控制
  • 化学品输送:高纯度化学品管路加热


EXS型薬液加熱ヒーター

半導体薬液洗浄装置のインライン用

EXS型は、PFA製で耐薬品性に優れ、長寿命かつ設置が容易な低ワット密度ヒーターです。

EXS型の特長

● 接液部にはすべてPFAを使用
● 低ワット密度の設計で長寿命
● 超純水、アルカリ液、酸性液に使用できます
● コンパクトなので設置が容易

维度核心价值
高纯度全氟树脂材质,无金属离子污染
化学兼容性耐强酸、强碱、有机溶剂等药液
大容量设计圆筒形容器提供较大加热容积
低温设计长寿命,免维护
水平安装便于管路布局和系统集成
洁净性适用于半导体、电子级应用


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