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日本kitz北泽半导体清洗药液过滤尼龙过滤器

日本kitz北泽半导体清洗药液过滤尼龙过滤器
对碱土金属(Ca、Mg)和过渡金属(Al、Ti、V、Cr、Mn、Fe)具有优异的去除效果,这是尼龙材质的功能

  • 产品型号:F70KSN01F-C8
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-02-27
  • 访  问  量:12
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详细介绍

日本kitz北泽半导体清洗药液过滤尼龙过滤器

日本kitz北泽半导体清洗药液过滤尼龙过滤器

Polyfix 尼龙(ポリフィックス ナイロン)
产品类型:工业用精密过滤器 / 化学·药品相关过滤器
核心技术:尼龙(Nylon)制中空纤维膜(中空糸膜)过滤器
过滤精度:5nm~40nm
产品形态:滤芯式(Cartridge)+ 胶囊式(Disposable/Capsule)

应用领域

  • 半导体·液晶相关
  • 化学·药品相关
  • 药液过滤·精制
  • 水系流体过滤·精制

产品特点

【中空纤维膜】具有金属离子降低效果的尼龙过滤器
特点说明
纳米级精度5nm、10nm、40nm三种规格
多种形态滤芯式(10英寸·20英寸)和胶囊式(5英寸)
高凝胶异物去除能力优异的凝胶状颗粒捕捉性能
超低溶出特殊清洗处理,降低金属和有机物溶出
高流量低压损长寿命中空纤维膜结构优势
金属离子降低效果尼龙材质的金属离子吸附去除功能

典型应用

  • 光刻胶(Photoresist)、光刻胶原料、树脂的过滤
  • 稀释剂、显影液的过滤
  • 无机·有机药品的过滤
  • 反射防止膜(TARC、BARC)的过滤
  • 清洗液、剥离液、蚀刻液的过滤
  • 超纯水、酒精的过滤

金属离子去除特性

测试条件:溶剂(PGMEA)中添加约10ppb金属离子,流量约25mL/min过滤后采样
金属离子去除率
Na(钠)约60%
Mg(镁)约85%
Al(铝)约92%
Ca(钙)约95%
Ti(钛)约88%
V(钒)约93%
Cr(铬)约92%
Mn(锰)约92%
Fe(铁)约93%
Ni(镍)约55%
Cu(铜)约38%
Zn(锌)约37%
Mo(钼)约90%
Ag(银)约82%
Cd(镉)约58%
Sn(锡)约92%
Ba(钡)约92%
Pb(铅)约84%
核心优势:对碱土金属(Ca、Mg)过渡金属(Al、Ti、V、Cr、Mn、Fe)具有优异的去除效果,这是尼龙材质的功能。


专为半导体光刻工艺中金属离子控制开发的特种中空纤维膜过滤器。其核心优势在于:
  1. 金属离子吸附功能 —— 尼龙6材质对多种金属离子具有天然吸附能力,去除率可达90%以上
  2. 纳米级精密过滤 —— 5nm、10nm、40nm三种精度,满足光刻胶严格的颗粒控制
  3. 高凝胶去除能力 —— 有效去除光刻胶中的凝胶状异物
  4. 超低溶出 —— 特殊清洗工艺确保金属和有机物溶出极低
  5. 灵活的产品形态 —— 滤芯式用于大规模生产,胶囊式用于实验室和小批量


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