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日本ULVAC真空工艺设备残留气体分析计核心基于四重极型质量分析技术，专为真空设备的气体监测与管理设计，是生产现场工艺监测的通用型设备
产品型号：Qulee BGM2-101厂商性质：经销商更新时间：2026-03-07访 问 量：10
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日本ULVAC真空工艺设备残留气体分析计
日本ULVAC真空工艺设备残留气体分析计
高性价比通用设计：兼顾实用性与成本，适配工业生产现场的常规残留气体分析需求，是真空设备管理的标准化监测工具；
无电脑独立操作：采用显示部一体化设计，无需外接电脑即可完成全部测量操作，适配现场快速检测需求；
一键极简操作：搭载 One Click 功能，支持 He/H₂O/N₂/O₂等常见气体及任意气体的一键分析，无需复杂参数设置，操作人员无专业门槛；
功能全面且实用：内置完善的泄漏测试功能，同时支持全压测量，一台设备兼顾气体成分分析与压力检测，还标配 Qulee QCS 专业分析软件，满足精细化数据处理需求；
工业适配性强：符合 CE 标准，支持高温烘烤（传感器单元拆 / 装状态下分别可耐受 250℃/120℃），适配真空设备的高温维护场景，使用温度范围 10~40℃，满足工业现场环境要求。
| 机型 | 质量数范围 | 检测器 | 灵敏度 | 最小检测分压 |
|---|---|---|---|---|
| BGM2-101 | 1~100 amu | 法拉第杯 | 10⁻⁷ A/Pa | 10⁻⁸ Pa |
| BGM2-201 | 1~200 amu | 法拉第杯 | 10⁻⁷ A/Pa | 10⁻⁸ Pa |
| BGM2-102 | 1~100 amu | 二次电子倍增管 + 法拉第杯 | 4A/Pa | 10⁻¹² Pa |
| BGM2-202 | 1~200 amu | 二次电子倍增管 + 法拉第杯 | 4A/Pa | 10⁻¹² Pa |
| 关键区别：102/202 双检测器款灵敏度和检测精度远高于 101/201 单法拉第杯款，可实现超微量残留气体检测；201/202 款的质量数测量范围拓展至 200 amu，能分析更大分子量的气体成分。 |
真空蒸着、溅射等成膜设备的残留气体监测；
高真空排气装置的气体成分分析；
冷冻干燥设备的工艺气体检测；
科研领域的各类气体成分分析实验。
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