ULVAC CGM2-101 / 102气体分析仪：日本进口技术的工作原理解析

更新时间：2025-03-07

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ULVAC CGM2-101 / 102气体分析仪，作为日本进口的分析设备，在工业气体分析领域展现出了出色的性能。这两款分析仪采用了先进的工作原理，确保了高精度和高分辨率的气体成分检测。

CGM2-101 / 102气体分析仪的工作原理主要基于质谱分析技术。它们能够在高压环境下（1Pa以下）进行工作，通过质谱仪对样品气体进行离子化和质量分析，从而准确检测出气体中的各组分含量。这种技术使得分析仪能够适用于各种溅射系统的工艺监控，包括残留水分管理、清洗液残留物监测以及制冷剂泄漏检测等。

此外，这两款分析仪还具备革命性的简单易操作性。它们内置了显示屏，无需连接PC即可单独操作使用。同时，标配的Qulee QCS软件进一步提升了数据分析的便捷性。用户可以通过简单的操作界面，轻松完成气体成分的分析和数据处理。

值得一提的是，CGM2-102型号还额外具备高灵敏度泄漏测试功能，使其在应用范围上更加广泛。无论是用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控，还是用于泄漏测试，CGM2-101 / 102气体分析仪都能够提供准确可靠的分析结果。

总的来说，ULVAC CGM2-101 / 102气体分析仪凭借其先进的工作原理和精准的性能，在工业气体分析领域发挥着重要作用。它们不仅提高了生产效率，还为企业的质量控制和安全管理提供了有力保障。