日本 ATOMAX AM 型精密喷雾喷嘴配件

一、产品基础信息

二、雾化工作原理

1. 液体经由直通大孔径流道向前输送；

2. 独立气道输送压缩空气，在喷嘴出口前端形成高速涡流；

3. 高速气流在喷嘴外部剪切、撕裂液流，形成平均粒径 5μm 的超细雾滴；

4. 气、液管路全程相互独立，仅在喷嘴出口接触，杜绝液体倒灌进气路。

核心优势：液体流路无细小狭缝，抗堵塞能力强，适合含微量固体颗粒药液、悬浮液持续喷涂。

三、核心技术参数

四、产品核心特点

1. 微量精密雾化，超薄成膜

   极小流量下雾化稳定，涂层厚度误差可控制 ±0.5μm 以内，无流挂、针孔，适配超薄功能性薄膜制备。

2. 直通流道，不易堵塞

   液体通道孔径远大于传统微型喷嘴，可连续喷涂悬浮液、弱浆料，大幅降低停机清洗频次。

3. 体积紧凑，便于设备集成

   外形小巧，可直接安装在晶圆清洗腔体、自动化模组、狭小密闭洁净设备内部；支持多支喷嘴并联排布。

4. 低耗气量，节能环保

   同等雾化效果下，压缩空气消耗量比常规二流体喷嘴节省 15%~70%，可搭配小型空压机使用。

5. 维护简单，洁净室适配

   仅有两大主体零件，无细小密封易损件；拆卸清洗便捷，满足半导体无尘车间洁净管控要求。

6. 雾冲击柔和，保护精密工件

   雾滴动能低，不会划伤晶圆、光学镜片、微型电极、FPC 柔性线路等敏感工件。

五、原厂配套配件清单（AM 型喷嘴可选配件）

1、喷嘴本体核心备件

• 雾化导流芯（喷嘴前端锥形涡流头，长期使用磨损后更换）

• 喷嘴主体底座（进气、进液一体式基座）

2、管路连接配件

• 气管接头、液体管路快插接头（标准外螺纹接口，匹配 1/8、1/4 英寸管路）

• PTFE、不锈钢高纯软管（半导体洁净管路）

• 气路 / 液路调压阀、微量液体调节阀（用于精准控制流量、气压）

3、安装固定配件

• 不锈钢支架、万向调节夹具（调整喷雾角度）

• 绝缘固定座、腔体法兰安装转接座（适配真空腔体、清洗机腔体内置安装）

4、工艺辅助选配组件

• 前端防滴漏装置（电磁阀联动，停机切断液体，杜绝残液滴落污染工件）

• 小型管路过滤器（前置保护，过滤药液杂质，延长喷嘴使用寿命）

• 洁净室专用管路单向阀，防止液体回流污染供液系统

六、典型应用场景

1. 半导体行业

   晶圆 CMP 后精密清洗、TSV 深孔清洗、光刻胶微量喷涂、边缘 EBR 去除、芯片封装基板清洁、钝化涂层喷涂。

2. 显示 & 光学行业

   OLED 阻隔膜喷涂、光学镜片 AR 增透膜喷涂、摄像头模组防眩光涂层、柔性 PI 薄膜喷涂。

3. 精密电子制造

   MEMS 传感器微量给药、FPC 线路三防涂层、微型电极导电液喷涂、PCB 精密清洗。

4. 其他领域

   实验室微量药剂喷雾、医疗器件超薄涂层、无尘空间均匀加湿、精密零部件温和除油清洗。

七、选型简易参考

• AM6：超微量，实验室、小尺寸晶圆、微型元件；

• AM12：通用微量，半导体小型清洗、光学元件镀膜；

• AM25：中等流量，300mm 晶圆批量清洗、大面积工件喷涂；

• AM45：较大流量，量产线大面积腔体清洗、高产能喷涂工序。