日本ベテル ハドソン 热物性显微镜设备

日本ベテル ハドソン  热物性显微镜设备 日本ベテル ハドソン  热物性显微镜设备

一、产品概述

二、核心技术与产品特点

1. 激光热反射法微区测量技术

   基于热反射法原理，通过周期性加热激光与同轴检测激光，捕捉样品表面温度变化引起的反射率变化，测量加热光与探测光的相位滞后，计算得到热渗透率，实现非接触式高精度测量。

2. 高分辨率微区测量能力

   检测光斑直径约 3μm，可实现传统设备难以完成的微米级热物性分布测量，支持单点、一维、二维分布测定，满足微小区域、薄膜样品的测试需求。

3. 宽范围样品适配

   可测量数百 nm 至数十 μm 厚的薄膜、多层膜及块状材料，支持基板上的样品测试，测量深度可调，适配树脂、陶瓷、金属、半导体等多种材料类型。

4. 缺陷检测与性能评估

   可通过热物性分布测量，检测薄膜下的裂纹、空洞与剥离缺陷，评估材料内部不均匀性，为涂层质量、界面密合性与工艺优化提供数据支撑。

三、核心参数与性能指标

四、测量原理简述

1. 在样品表面沉积金属薄膜，使用加热激光进行周期性加热；

2. 利用金属反射率随温度变化的特性（热反射法），通过同轴检测激光捕捉反射强度变化，测量表面相对温度变化；

3. 热量从金属薄膜传导至样品，导致温度响应产生相位滞后，该滞后与样品热特性相关；

4. 通过测量加热光与探测光的相位差，计算得到热渗透率，并可换算为热扩散率与热导率。

五、主要应用场景

• 半导体与涂层材料：薄膜、多层膜的热渗透率分布测量，评估涂层均匀性与界面热性能。

• 材料缺陷检测：检测薄膜下的裂纹、空洞与剥离缺陷，评估样品内部热性能不均匀性。

• 高导热 / 隔热材料研发：新型导热材料、隔热涂层的微区热性能测试，为材料设计与工艺优化提供数据支撑。

• 质量管控：批量样品的热性能一致性检测，确保产品热稳定性与可靠性。