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日本ULVAC 爱发科 低温高真空泵设备日本 ULVAC CRYO-U10HSP 低温高真空泵，采用低温冷凝原理，对水、氢、氩等气体具备高抽速，极限真空可达 10⁻⁷Pa，适用于真空镀膜、半导体工艺等高真空应用场景。
产品型号：CRYO-U10HSP厂商性质：经销商更新时间：2026-04-30访 问 量：12
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日本ULVAC 爱发科 低温高真空泵设备 日本ULVAC 爱发科 低温高真空泵设备
高抽气性能：对水、氢、氩等多种气体具备高效抽气能力，抽速分别达 6900L/s、3600L/s、2000L/s，可快速建立高真空环境。
高极限真空能力：可实现 10⁻⁷Pa（10⁻⁹Torr）以下的极限真空，满足对真空度要求严苛的工艺需求。
稳定可靠的运行设计：配备 C15T 压缩机单元，采用成熟的低温泵技术，可长时间稳定运行，保障工艺过程的连续性。
紧凑化结构设计：设备尺寸适配标准法兰接口，进气口采用 UVG-250 法兰，便于与真空腔体集成安装。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | CRYO-U10HSP |
| 抽气速度（20℃） | 氮：2400L/s；氢：3600L/s；氩：2000L/s；水：6900L/s |
| 极限真空 | 10⁻⁷Pa（10⁻⁹Torr） |
| 最大流量（氩气） | 1.30×10³ Pa·L/s（9.8 Torr·L/s） |
| 抽气容量 | 氩气：2.0×10⁸ Pa・L；氢气：1.2×10⁶ Pa・L |
| 冷却下降时间 | 120/110min（50/60Hz） |
| 进气口法兰 | UVG-250, 10" ANSI |
| 压缩机单元 | C15T |
| 设备重量 | 36.0kg |
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