热门搜索：日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机
深圳秋山工业设备有限公司 全国咨询热线：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
ULVAC 爱发科 耐工艺型干式螺杆真空泵设备日本 ULVAC MS 系列是耐工艺型干式螺杆真空泵，在传统 LS 系列基础上强化了耐腐蚀性与排粉能力，可处理腐蚀性气体和含粉尘排气，适用于半导体、锂电、热处理等高要求真空工艺场景。
产品型号：MS系列 MS120A厂商性质：经销商更新时间：2026-04-30访 问 量：18
立即咨询
联系电话：13823182047
ULVAC 爱发科 耐工艺型干式螺杆真空泵设备 ULVAC 爱发科 耐工艺型干式螺杆真空泵设备
高耐腐蚀性设计：对转子轴、气缸等关键部件进行特殊表面处理，可适应腐蚀性气体的长期排气需求，延长设备使用寿命。
优异的排粉性能：采用 ULVAC 独特的螺杆转子轴设计，可高效排出工艺过程中产生的粉尘，避免泵腔堵塞，保障连续运行稳定性。
全压力范围连续运行：支持从大气压到极限压力的全压力范围连续运行，无需复杂的启停控制，适配各类工艺的连续生产需求。
多规格可选配置：提供 MS120A、MS600A、MS1200A 三种规格，排气速度覆盖 115~980m³/h，可根据不同工艺规模灵活选择。
| 项目 | MS120A | MS600A | MS1200A |
|---|---|---|---|
| 最大排气速度 | 115m³/h | 560m³/h | 980m³/h |
| 极限压力 | ≤0.6Pa | ≤0.1Pa | ≤0.1Pa |
| 电源电压 | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz |
| 功耗 | 2.4kW | 3.1kW | 3.1kW |
| 冷却水量 | >4.0L/min | >4.0L/min | >4.0L/min |
| 吹扫气体量 | 0~50sccm | 0~50sccm | 0~50sccm |
| 最大水蒸气处理量 | 1.5kg/h | 1.5kg/h | 1.5kg/h |
| 噪音值 | 61dB(A) | 62dB(A) | 64dB(A) |
| 吸气口规格 | KF50/ISO-F-80 | ISO-F-80 | ISO-F-100 |
| 排气口规格 | KF40 | KF40 | KF40 |
| 设备重量 | 139kg | 241kg | 264kg |
电子元件与半导体制造设备的真空排气系统，如蚀刻、组装、等离子清洗设备
真空热处理炉的真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉
锂离子电池制造设备的真空排气系统，如电极干燥装置、脱泡装置、注液装置
医疗与食品相关装置的真空排气系统，如冷冻干燥装置、真空干燥装置
您的位置：
