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ULVAC 爱发科 超高真空低温泵实验设备日本 ULVAC CRYO-U8H 是轻巧紧凑的标准型低温泵，专为实验装置与小型生产装置设计，可实现 10⁻⁸Pa 以下超高真空，支持多台并联运行，适配各类高真空排气场景。
产品型号：CRYO-U8H厂商性质：经销商更新时间：2026-04-30访 问 量：15
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ULVAC 爱发科 超高真空低温泵实验设备 ULVAC 爱发科 超高真空低温泵实验设备
轻巧紧凑设计：结构紧凑，便于安装与布局，节省设备空间，适配实验装置与小型生产装置的空间需求。
超高真空性能：可实现 10⁻⁸Pa 以下的超高真空，满足对真空度要求的工艺与实验场景需求。
多台并联运行支持：最多支持 3 台并联运行，可根据实际排气需求灵活扩展，提升系统排气能力。
广泛的排气能力：对氮气、氢气、氩气及水蒸气等多种气体具有较高的排气速度，适配不同工艺的气体处理需求。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 氮气排气速度（20℃） | 1700L/s |
| 氢气排气速度（20℃） | 2700L/s |
| 氩气排气速度（20℃） | 1400L/s |
| 水蒸气排气速度（20℃） | 4000L/s |
| 极限压力 | 10⁻⁷Pa（10⁻⁹Torr） |
| 氩气最大流量 | 1.2×10³Pa·L/s（8.9Torr·L/s） |
| 氩气排气容量 | 1.0×10⁸Pa·L（7.6×10⁵Torr·L） |
| 氢气排气容量 | 1.0×10⁶Pa·L（7.6×10³Torr·L） |
| 冷却下降时间（电力循环） | 100/90min（50/60Hz） |
| 进气口法兰规格 | UVG-200、6" ANSI、ICF-253 |
| 外形尺寸（不含突起物） | 直径 300mm，高度 523.7mm（上部直径 203.2mm，高度 209.6mm） |
各类科研实验装置的超高真空排气系统
小型半导体生产装置的真空排气配套设备
真空热处理炉、真空镀膜设备的高真空排气系统
医疗与食品相关装置的超高真空排气场景
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