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ULVAC 爱发科 双阴极兼容型等离子电源设备日本 ULVAC SG 系列是专为双阴极溅射、等离子体 CVD 等工艺设计的 LF 等离子电源，可在 20kHz-100kHz 频率范围内连续输出额定功率，支持脉冲控制与多种外部通信方式，适配各类等离子负载应用。
产品型号：SG系列 SG-10-4厂商性质：经销商更新时间：2026-04-30访 问 量：19
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ULVAC 爱发科 双阴极兼容型等离子电源设备 ULVAC 爱发科 双阴极兼容型等离子电源设备
宽频率范围输出：可设置并输出 20kHz 至 100kHz 的振荡频率，无需更改抽头即可在规格范围内的输出电压范围内输出，适配不同工艺的频率需求。
脉冲输出控制：支持脉冲输出控制，可根据工艺需求灵活调整输出模式，优化等离子体稳定性与工艺效果。
灵活的外部控制方式：标准配备外部模拟控制、控制器等控制功能，通过选配可支持 RS232C、RS485、EtherCAT 等多种控制方式，便于与自动化系统集成。
高可靠性设计：专为等离子体负载优化设计，兼具可靠性与稳定性，可长时间稳定运行，保障工艺连续性。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 输入电压 | 三相 AC380-440V |
| 输入容量 | 13.2kVA 以下 |
| 最大额定功率 | 10kW |
| 额定电流 | 32A |
| 额定电压 | 1000Vrms |
| 振荡频率 | 20k-100kHz |
| 控制精度 | ±100W |
| 控制保证范围 | 额定功率值的 10-100%（电压 30V 以上、电流 1.5A 以上） |
| 外部控制方式 | 模拟 / 数字、RS232C/RS485（选配）、EtherCAT（选配） |
| 冷却方式 | 水冷，7L/min 以上 |
| 外形尺寸（W×D×H） | 483×500×177mm |
| 设备重量 | 40kg |
双阴极溅射工艺的等离子发生系统
等离子体 CVD 工艺的电源配套设备
各类需要宽频率范围等离子输出的半导体与真空工艺场景
科研实验中需灵活控制频率与功率的等离子体发生装置
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