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日本ARIOS 固态型高性能射频电源设备日本 ARIOS RP 系列是固态型 13.56MHz 高性能射频电源，含 150W/300W/500W/1kW 四档型号，可搭配自动匹配盒，专为 RF 溅射、等离子体 CVD 等场景设计，支持实验室到全自动控制等离子体源的多种用途。
产品型号：RP-151 / RP-301 / RP-502厂商性质：经销商更新时间：2026-05-06访 问 量：24
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日本ARIOS 固态型高性能射频电源设备 日本ARIOS 固态型高性能射频电源设备
全固态设计，稳定可靠：采用全固态架构，搭配强力风扇强制空冷，支持高功率长时间稳定运行，线性输出控制，输出性能稳定。
高容许反射功率，抗干扰性强：具备高容许反射电源设计，可适应负载阻抗变化，提升设备运行稳定性。
紧凑型轻量化设计，适配多种场景：机身紧凑轻量，便于实验室、生产线等不同场景部署，适配多种安装环境。
搭配自动匹配盒，阻抗适配广：可搭配 MB 系列自动匹配盒（MB-302/MB-502/MB-1K02），支持 3~40Ω 或 1~30Ω 阻抗范围，自动 / 手动切换整合模式，实现高速自动匹配。
| 项目 | RP-151 | RP-301 | RP-502 | RP-1K02 |
|---|---|---|---|---|
| 周波数 | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz |
| 输出功率 | 5~150W（150W 连续） | 10~300W（300W 连续） | 0~500W（500W 连续） | 10~1000W（1kW 连续） |
| 输出阻抗 | 50Ω（BNC 接口） | 50Ω（BNC 接口） | 50Ω（N 型接口） | 50Ω（N 型接口） |
| 电源输入 | 单相 AC100~240V（内部设定） | 单相 AC100~240V（内部设定） | 单相 AC100~240V（内部设定） | 三相 AC200~260V |
| 功耗 | 250W 最大 | 450W 最大 | 750W 最大 | 1.5kW 最大 |
| 项目 | MB-302 | MB-502 | MB-1K02 |
|---|---|---|---|
| 适配功率 | 300W | 500W | 1000W |
| 周波数 | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz |
| 阻抗范围 | 3~40Ω | 3~40Ω | 1~30Ω |
| 整合模式 | 自动 / 手动切换 | 自动 / 手动切换 | 自动 / 手动切换 |
RF 溅射、等离子体 CVD 等半导体 / 材料处理工艺场景
实验室等离子体发生装置，支持手动实验操作
工业级全自动控制等离子体源，适配生产线连续运行
对射频电源稳定性、阻抗适配性有要求的等离子体应用场景
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