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日本ARIOS 超小型微波激发等离子体源设备日本 ARIOS SMPS-201 是超小型微波激发等离子体源，专为气体 / 排气管线中途安装设计，无电极放电可实现高密度等离子体，可用于腔室清洁、气体活化、废气分解等场景，适配多种活性气体，空冷式设计无需冷却水。
产品型号：SMPS-201厂商性质：经销商更新时间：2026-05-06访 问 量：24
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日本ARIOS 超小型微波激发等离子体源设备 日本ARIOS 超小型微波激发等离子体源设备
无电密度等离子体：采用新型微波供给方式实现无电极放电，可产生 1.2×10¹¹ cm⁻³ 密度、1.9eV 电子温度的高密度等离子体，工艺性能稳定。
轻量化紧凑型设计：本体重量仅 1.9kg，尺寸小巧，可灵活安装于气体管线中途，适配多种设备布局。
全空冷式设计，无需冷却水：采用强制空冷方式冷却，无需外接冷却水系统，减少配套设备成本与安装工序。
高安全性屏蔽结构：屏蔽结构设计，对微波泄漏具有安全性，使用过程更可靠。
适配多种活性气体：可使用各种活性气体，支持腔室清洁、气体活化、废气分解等多种工艺场景。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | SMPS-201 |
| 放电室材质 | 高纯度氧化铝 |
| 微波输入功率 | 最大 200W |
| 放电室内径 | 直径 20mm |
| 最大出射口径 | 直径 15mm |
| 气体入口规格 | 1/4 VCR™ |
| 连接法兰 | φ70CF |
| 冷却方式 | 强制空冷方式（冷却风扇） |
| 点火装置 | 高压脉冲许可型（自动） |
| 本体质量 | 1.9kg |
| 工作条件（参考） | Ar 气 90Pa、微波电力 85W、气体流量 65sccm 时，等离子体密度 1.2×10¹¹ cm⁻³、电子温度 1.9eV |
半导体设备腔室清洁、污染物去除，提升工艺稳定性
安装于气体管路中途，通过气体活化提高工艺反应速度
作为氧化处理、氮化处理、蚀刻工艺的自由基源，进行气体预处理
促进气体分解，减轻废气处理装置的负担，降低环保设备运行压力
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