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日本ARIOS 小型微波激发离子源设备日本 ARIOS EMIS-111Q 是石英放电管型小型微波激发离子源，采用紧凑型设计，可产生大电流离子束，支持全空冷运行，可搭配 2kV 离子加速电源，适用于离子束处理、薄膜制备等实验室工艺场景。
产品型号：EMIS-111Q厂商性质：经销商更新时间：2026-05-06访 问 量：20
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日本ARIOS 小型微波激发离子源设备 日本ARIOS 小型微波激发离子源设备
紧凑高效的离子源设计：等离子体室由石英制成，可目视观察放电情况，三电极结构设计可利用低功率微波获得大电流离子束。
低杂质污染设计：等离子体室中与等离子体接触的部分全部由绝缘材料（氧化铝 + 石英）构成，可将杂质混入降至。
安全屏蔽与冷却设计：采用全屏蔽结构，可防止微波泄漏，安全性高；全空冷式设计，无需冷却水，降低配套设备成本。
适配多种气体与工艺：可使用各种活性气体，搭配可选中和器，也可用于绝缘体处理场景。
便捷的安装与连接：微波通过同轴电缆传输，无需复杂的波导管连接，设备安装与调试更简便。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | EMIS-111Q |
| 放电室材质 | 石英 |
| 微波输入功率 | 最大 150W |
| 放电室内径 | 直径 26mm |
| 栅格孔径 | φ2.8mm×19 |
| 烘烤温度 | 最大 150℃（仅法兰部分） |
| 真空密封方式 | O 型圈密封（放电管部） |
| 气体入口规格 | 1/4 英寸录像机接口™或 1/4 英寸 Swagelok 接口™ |
| 连接法兰 | φ114CF |
| 配套离子加速电源型号 | 3ACCPS2-30 |
| 加速电源输出 | 加速电极 - 500V 8mA、屏极 2kV 30mA（比率可变更） |
| 离子束电流密度（参考） | 520μA/cm²（Ar 气、微波功率 100W 条件下） |
实验室离子束处理工艺，如表面改性、刻蚀、清洗等
薄膜制备工艺中的离子束辅助沉积，提升薄膜附着力与性能
绝缘体材料处理场景，搭配可选中和器可满足绝缘基底工艺需求
科研院所、高校实验室的离子源研发与工艺验证
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