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产品分类
日本AD-TEC TX系列 高周波射频电源设备日本 AD-TEC TX 系列高周波射频电源，搭载耐反射 AB 级线性增幅器，支持 12.5MHz/13.56MHz/27.12MHz 频率，功率覆盖 300W-5000W，采用小型半机柜设计，可选脉冲、可变频率、电弧抑制功能，适配多种等离子体工艺场景。
产品型号：300W/600W/1000W厂商性质：经销商更新时间：2026-05-07访 问 量：15
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日本AD-TEC TX系列 高周波射频电源设备 日本AD-TEC TX系列 高周波射频电源设备
稳定可靠的线性放大设计：搭载耐反射 AB 级线性增幅器，具备出色的负载适应性与稳定性，保障等离子体工艺的稳定运行。
小型化与轻量化设计：采用半机柜型结构，相比旧型产品，宽度和重量均降低至 1/2 以下，便于设备集成与安装，节省空间。
丰富的选配功能：支持脉冲功能、VF（可变频率）、电弧抑制功能选配，可根据工艺需求灵活配置，适配复杂工艺场景。
多规格可选：频率支持 12.5MHz、13.56MHz、27.12MHz，功率覆盖 300W、600W、1000W、2000W、3000W、5000W，可满足不同工艺功率需求。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 对应频率 | 12.5MHz、13.56MHz、27.12MHz |
| 额定功率 | 300W、600W、1000W、2000W、3000W、5000W |
| AC 电源 | 单相 AC200-240V（300W/600W）三相 AC200-240V（1000W 及以上） |
| 冷却方式 | 风冷（300W/600W/1000W/2000W）风冷 + 水冷（3000W/5000W） |
| 外观尺寸（宽 × 深 × 高） | 300W/600W/1000W/2000W：215mm×498-558mm×145-177mm3000W/5000W：430mm×650mm×177mm |
| 重量 | 7kg~45kg（依型号而定） |
半导体制造工艺，如等离子体刻蚀、沉积、清洗等工序的电源驱动
表面处理行业，如等离子体表面活化、改性、涂层工艺
实验室与工业等离子体设备配套，为等离子体发生提供稳定可靠的射频电源
精密电子制造、材料加工等对等离子体工艺稳定性要求较高的场景
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