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日本AD-TEC 双极直流电源设备日本 AD-TEC 静电卡盘电源，输出 ±10kV 高电压，具备极性反转与强制接地功能，数字控制支持 RS-232C 通信与模拟输出，内置放电、短路、过载保护，可选配 RF 滤波器，适配半导体静电卡盘应用。
产品型号：BP020A厂商性质：经销商更新时间：2026-05-07访 问 量：12
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日本AD-TEC 双极直流电源设备 日本AD-TEC 双极直流电源设备
合规与高压输出：符合 UL 标准，可稳定输出 ±10kV 高电压，满足静电卡盘的静电吸附与释放需求。
极性与接地功能：具备极性反转功能及强制接地功能，适配不同工艺阶段的极性切换与安全接地需求。
数字控制与通信：采用数字控制，支持 RS-232C 外部通信，同时具备电压、电流模拟输出显示功能，便于设备集成与监控。
多重安全保护：内置可靠的保护电路，可防止负载侧放电、短路、过载等异常情况，提升设备运行稳定性。
RF 干扰防护：可搭配专用 RF 滤波器 BOX，保护电源免受 RF 干扰影响，适配等离子体工艺环境。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 输入电源 | DC24Vdc（22Vdc~28Vdc） |
| 额定电压 | ±10kVdc |
| 额定电流 | ±1mA |
| 纹波电压 | 1%pp |
| 输出稳定性 | 100Vdc（额定输出时） |
| 负载范围 | 10MΩ（容许值：8~50MΩ） |
| 冷却方式 | 风冷（不可使用腐蚀性气体） |
| 外观尺寸 | W480×H149×D500（mm） |
| 重量 | 约 9.7kg |
半导体制造工艺中的静电卡盘供电，如晶圆吸附、固定与释放环节
需高压直流供电且对极性切换、安全接地有要求的工业静电应用场景
等离子体工艺环境下的静电卡盘配套电源，搭配 RF 滤波器可抵御 RF 干扰
| 字段 | 填写内容 |
|---|---|
| 产品名称 | 日本AD-TEC BP020A 双极直流电源 |
| 所属品牌 | AD-TEC（Plasma Technology） |
| 产品系列 | BP系列双极直流电源 |
| 产品型号 | BP020A |
| 精准搜索关键词 | AD-TEC BP020A、双极直流电源、SiC功率模块等离子体电源 |
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