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日本AD-TEC 自动阻抗匹配设备日本 AD-TEC AMVG 系列自动阻抗匹配装置，支持 380kHz~40.68MHz 频率，适配 300W~30kW 功率，具备高速自动匹配能力，搭配 AMV 软件支持 PC 端操作与测量，内置 LC 网络标准库，可根据客户需求定制接口、尺寸与匹配范围。
产品型号：AMVG系列厂商性质：经销商更新时间：2026-05-07访 问 量：13
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日本AD-TEC 自动阻抗匹配设备 日本AD-TEC 自动阻抗匹配设备
高速自动匹配：可实现高速自动阻抗整合，快速响应负载阻抗变化，维持电源与负载间的阻抗匹配，减少工艺波动。
PC 端控制与测量：装备 AMV 软件，支持个人电脑对匹配装置进行操作、参数设置与阻抗测量，便于设备调试与工艺监控。
内置标准库：内置用于预设和 LC 网络的标准库，可快速调用常用匹配参数，简化工艺设置流程。
灵活定制能力：可根据客户要求定制接口（I/F）、外观尺寸、整合范围，适配不同设备集成需求。
宽频率与功率适配：支持 380kHz~40.68MHz 频率范围，最大通过功率覆盖 300W~30kW，适配多种等离子体电源与工艺场景。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 支持频率 | 380kHz~40.68MHz |
| 电源规格 | 单相 AC100-200V（50-60Hz）、DC24V |
| 最大通过功率 | 300W~30kW |
半导体制造工艺，如等离子体刻蚀、沉积、清洗工序的射频电源阻抗匹配
工业等离子体表面处理设备，如材料活化、改性、涂层工艺的电源配套
实验室等离子体研究设备，提供稳定的阻抗匹配支持
对工艺稳定性要求较高的等离子体设备，需快速响应负载阻抗变化的场景
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