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日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备

日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备日本 AD-TEC 2450MHz 微波电源,额定功率 3kW,专为等离子体处理系统设计,采用低漂移磁控管,支持 RS485 通信,匹配精度≤1%、速度≤3 秒,内置隔离器,水冷设计适配复杂工业环境。

  • 产品型号:3kW 规格
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-05-07
  • 访  问  量:15
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详细介绍

日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备 日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备

产品概述
本款 AD-TEC 2450MHz 微波电源专为等离子体处理系统设计,额定功率 3kW,采用低漂移磁控管,支持多种数字通信协议,具备快速、高精度的阻抗匹配能力,内置隔离器,水冷设计可在广泛环境中稳定运行,满足工业等离子体工艺的高可靠性需求。
核心特点
  • 等离子体工艺适配:专为等离子体处理系统设备设计,可提供稳定的 2450MHz 微波输出,适配各类等离子体应用场景。

  • 轻量化设计:实现高压电源及振动部的轻量化,降低设备集成难度,减少安装空间占用。

  • 低漂移磁控管:使用低漂移性磁控管,保障输出频率与功率的稳定性,提升工艺一致性。

  • 通信功能丰富:标准搭载 RS485 控制设备,支持与微波电源通信,同时可兼容其他数字通信协议,便于设备联网与远程监控。

  • 散热与环境适应性:不受高压电源及振动部的散热影响,可在更广泛的设置环境中稳定运行,降低对安装空间的散热要求。

  • 内置隔离器:采用振动器 + 隔离器一体型设计,减少外部干扰,提升设备运行稳定性。

核心参数
表格
项目参数
频率范围2450MHz±30MHz
最大输出功率3000W
输出可变范围300W~3000W(注:输出 600W 以内时,不保证输出直线精度)
输出直线精度设置功率的 ±3% 以内
输出稳定性电源电压 ±10% 变动时,输出波动 ±1% 以内
输出纹波5% p-p 以下
匹配精度1% 以内(功率比)
匹配速度3 秒以内
冷却方式水冷
AC 电源三相 AC200V±10%,50/60Hz,20A 以内
外观尺寸W480×H221.5×D631(mm)
重量约 30kg
应用场景
  • 等离子体处理系统配套,如材料表面活化、改性、涂层工艺

  • 半导体制造中的微波等离子体刻蚀、沉积等工序

  • 工业微波加热、等离子体灭菌等对微波功率稳定性要求较高的场景

  • 需快速阻抗匹配、抗干扰能力强的工业等离子体设备

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