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日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备日本 AD-TEC 2450MHz 微波电源,额定功率 3kW,专为等离子体处理系统设计,采用低漂移磁控管,支持 RS485 通信,匹配精度≤1%、速度≤3 秒,内置隔离器,水冷设计适配复杂工业环境。
产品型号:3kW 规格
厂商性质:经销商
更新时间:2026-05-07
访 问 量:15
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日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备 日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备
等离子体工艺适配:专为等离子体处理系统设备设计,可提供稳定的 2450MHz 微波输出,适配各类等离子体应用场景。
轻量化设计:实现高压电源及振动部的轻量化,降低设备集成难度,减少安装空间占用。
低漂移磁控管:使用低漂移性磁控管,保障输出频率与功率的稳定性,提升工艺一致性。
通信功能丰富:标准搭载 RS485 控制设备,支持与微波电源通信,同时可兼容其他数字通信协议,便于设备联网与远程监控。
散热与环境适应性:不受高压电源及振动部的散热影响,可在更广泛的设置环境中稳定运行,降低对安装空间的散热要求。
内置隔离器:采用振动器 + 隔离器一体型设计,减少外部干扰,提升设备运行稳定性。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 频率范围 | 2450MHz±30MHz |
| 最大输出功率 | 3000W |
| 输出可变范围 | 300W~3000W(注:输出 600W 以内时,不保证输出直线精度) |
| 输出直线精度 | 设置功率的 ±3% 以内 |
| 输出稳定性 | 电源电压 ±10% 变动时,输出波动 ±1% 以内 |
| 输出纹波 | 5% p-p 以下 |
| 匹配精度 | 1% 以内(功率比) |
| 匹配速度 | 3 秒以内 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| AC 电源 | 三相 AC200V±10%,50/60Hz,20A 以内 |
| 外观尺寸 | W480×H221.5×D631(mm) |
| 重量 | 约 30kg |
等离子体处理系统配套,如材料表面活化、改性、涂层工艺
半导体制造中的微波等离子体刻蚀、沉积等工序
工业微波加热、等离子体灭菌等对微波功率稳定性要求较高的场景
需快速阻抗匹配、抗干扰能力强的工业等离子体设备