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日本P.R.A. 静电吸盘（ESC）用高压电源设备日本 P.R.A. 静电吸盘用高压电源，专为半导体制造工艺设计，支持 ±1~±5kV 双极输出，具备极性反转与自动放电功能，适配 13.56MHz 射频环境，可稳定固定硅片，解决海外同类产品维修成本高、周期长的痛点。
产品型号：PHV / PRE 系列厂商性质：经销商更新时间：2026-05-08访 问 量：11
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日本P.R.A. 静电吸盘（ESC）用高压电源设备 日本P.R.A. 静电吸盘（ESC）用高压电源设备
双极输出与极性控制：支持 ±1~±5kV 双极输出，可实现高压极性反转，配合自动放电功能，大幅改善晶圆的夹持与脱夹持特性，适配 Bipolar ESC 应用场景。
射频环境适配设计：配备专用 Blocking Filter 电路，可在 13.56MHz 射频环境下稳定工作，抑制射频干扰，保障高压输出的稳定性。
保护功能：内置浪涌电流、电弧电流保护电路，具备短路 / 开路保护功能，提升设备运行的可靠性，适配半导体产线的连续作业需求。
灵活的接口与适配性：支持模拟 I/O、RS-232C 串行接口，可兼容现有设备的接口与安装方式，便于产线升级改造。
长寿命与低维护成本：采用自主设计电路，解决了海外同类产品维修周期长、成本高的问题，可提供本地化维修与技术支持，保障产线连续运行。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 输出电压范围 | ±1~±5kV（单极 / 双极可选） |
| 输出电流 | 1~10mA |
| 射频环境适配 | 13.56MHz，配备 Blocking Filter |
| 极性控制 | 极性反转功能，自动放电功能 |
| 保护功能 | 浪涌电流保护、电弧电流保护、短路 / 开路保护 |
| 接口类型 | 模拟 I/O、RS-232C 串行接口 |
| 合规性 | RoHS 兼容 |
半导体制造工艺：PVD、CVD、ETCH 等制程环节的硅片固定，适配 8 英寸 / 12 英寸晶圆产线
真空环境固定：液晶面板玻璃基板等材料在真空腔室内的无损伤吸附与固定
产线升级改造：可兼容现有海外设备的接口与安装方式，降低升级成本与周期
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