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日本JSE 低功耗自动整合匹配仪器日本 JSE MBPR-302 是一款专为设备嵌入设计的低功耗自动匹配单元，支持 13.56MHz、300W 射频环境，集成 L 型整合回路，仅需 DC12V 供电即可运行，适配半导体工艺设备的阻抗匹配需求。
产品型号：MBPR-302厂商性质：经销商更新时间：2026-05-08访 问 量：14
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日本JSE 低功耗自动整合匹配仪器 日本JSE 低功耗自动整合匹配仪器
低功耗与便捷供电：采用 DC12V 1.5A 供电，低功耗设计，便于设备嵌入安装，无需复杂供电配置。
宽范围阻抗匹配：采用 L 型整合回路，整合范围覆盖 R=3-40Ω、X=-50~+50Ω，适配不同负载条件下的阻抗匹配需求。
紧凑集成设计：操作功能集成于本体，结构紧凑，便于设备集成安装，减少额外空间占用。
稳定的射频适配能力：支持 13.56MHz、300W 射频功率，配备空气可变电容器（VC1 800pF、VC2 150pF）与 PM 型步进电机驱动，实现精准阻抗调节。
监测功能：支持模拟外部监测，可输出 Z 传感器值、P 传感器值及 C1/C2 当前值，便于设备运行状态监控。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 周波数 | 13.56MHz |
| 定格电力 | 300W |
| 整合范围 | R=3-40Ω、X=-50~+50Ω |
| 回路方式 | L 型整合回路 |
| 输入连接器 | BNC-R 型 |
| 输出连接器 | M4 螺丝端子 |
| 电源 | DC12V 1.5A |
| 整合素子 | VC1 空气可变电容器 800pFVC2 空气可变电容器 150pF |
| 驱动方式 | PM 型步进电机 |
| 冷却方式 | 自然空冷 |
| 监测功能 | 模拟外部监测，支持 Z 传感器值、P 传感器值、C1/C2 当前值输出 |
半导体制造工艺：适配等离子体刻蚀、沉积等工艺设备的射频阻抗匹配
等离子体处理设备：用于材料表面改性、清洗等设备的射频电源匹配
设备嵌入集成：适配小型化、低功耗需求的工艺设备，实现射频阻抗的自动调节
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