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日本JSE 13.56MHz 500W 高频电源设备日本 JSE RF-500 是专为等离子体发生设计的高频电源，采用晶体振荡器与输出稳定功能，稳定输出 13.56MHz 500W 能量，支持 0~500W 功率可调，风冷小型化设计，适配半导体工艺与科研实验场景。
产品型号：RF-500厂商性质：经销商更新时间：2026-05-08访 问 量：12
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日本JSE 13.56MHz 500W 高频电源设备 日本JSE 13.56MHz 500W 高频电源设备
稳定的能量输出：采用晶体振荡器，频率变动控制在 ±1kHz 以内，配合输出稳定功能，实现 13.56MHz 500W 能量的稳定输出，输出稳定度 ±1% 以内（内部控制 CW 模式）。
宽功率调节范围：支持 0W~500W 功率可调，适配不同工艺需求，满足等离子体发生、材料处理等多场景应用。
保护机制：内置反射保护、内部过电压 / 过电流保护（下垂特性）、过热保护（切断），可快速响应设备异常状态，保障运行安全。
便捷的操作与控制：配备 LOCAL/REMOTE 模式切换、ON/OFF 开关、RESET 按钮及功率调节旋钮，支持正向功率（FORWARD）与反射功率（REFLECT）实时显示，便于运行状态监控。
灵活的电源适配：支持 AC100V/200V 单相输入（可在出货时设定），消费电力约 800W，采用强制风冷设计，保障长时间稳定运行。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 品名 | 高频电源 |
| 型号 | RF-500 |
| 周波数 | 13.560MHz |
| 额定出力 | 500W |
| 出力可变范围 | 0W ~ 500W |
| 周波数变动 | ±1kHz 以内 |
| 电源输入 | AC100V/200V 单相（出货时设定） |
| 消费电力 | 约 800W |
| 出力安定度 | ±1% 以内（内部控制 CW 模式） |
| 冷却方式 | 强制空冷 |
| 变调机能 | 无 |
| 外部発振 | 5mW@50Ω |
| 终段アンプ | MOS-FET CLASS D |
| 外部制御 | 外部制御专用 |
| スプリアス | -50dBc 以下 |
| 出力コネクタ | N-R 型同轴连接器 |
| AC コネクタ | AC インレット 3P |
| その他コネクタ | リモコン DDK#57-40240 |
| 保护回路 | 反射保护、内部过电压 / 过电流保护（下垂）、过热保护（切断） |
| 制御机能 | 别表 |
半导体制造工艺：适配等离子体刻蚀、沉积、清洗等工艺设备的射频电源需求
科研与实验：适用于等离子体物理、材料表面改性、等离子体化学等科研实验场景
工业处理设备：用于等离子体表面处理、灭菌、薄膜沉积等工业设备的射频供电
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