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日本JSE 13.56MHz 高频电源设备日本 JSE RF-301/RF-151 是专为等离子体发生与工业用途设计的高频电源，额定输出 13.56MHz 300W，采用恒定功率反馈控制，支持 5W~300W 可调输出，适配研究实验与半导体工艺场景。
产品型号：RF-301/RF-151厂商性质：经销商更新时间：2026-05-08访 问 量：13
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日本JSE 13.56MHz 高频电源设备 日本JSE 13.56MHz 高频电源设备
稳定的功率控制：采用恒定功率反馈机制，确保在不同负载条件下输出功率稳定，支持 5W~300W 宽范围可调，适配不同工艺需求。
工业级适配设计：专为等离子体发生、材料处理等工业用途设计，支持 13.56MHz 标准射频频率，满足半导体工艺设备的射频电源需求。
便捷的操作与监控：配备电源开关、RF ON 开关及功率调节旋钮，支持正向功率（Pf）与反射功率（Pr）实时显示，便于运行状态监控。
保护功能：内置 AC 一次侧保险丝保护，配备保护指示灯，可快速反馈设备异常状态，提升运行安全性。
宽环境适应性：工作环境温度 0-40℃、湿度≤80%（无结露），采用风扇风冷设计，保障长时间稳定运行。
| 项目 | 参数（RF-301） |
|---|---|
| 周波数 | 13.56MHz |
| 额定输出 | 300W @ 50Ω 负载 |
| 输出可调范围 | 5W~300W |
| 电源电压 | AC100V 50/60Hz（可选 AC200V） |
| 消费电力 | 约 500W |
| 冷却方式 | 风扇风冷 |
| 安全回路 | AC 一次侧保险丝（L 侧） |
| 操作部件 | 电源开关、RF ON 开关、功率调节旋钮 |
| 显示部件 | RF ON 指示灯、保护指示灯、Pf/Pr 显示 |
| 使用环境 | 室温 0-40℃、湿度≤80%（无结露） |
半导体制造工艺：适配等离子体刻蚀、沉积、清洗等工艺设备的射频电源需求
研究与实验：适用于等离子体物理、材料表面改性等科研实验场景
工业处理设备：用于等离子体表面处理、灭菌等工业设备的射频供电
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