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日本 KITANO 超高真空半导体探针设备日本北野精机超高真空半导体探针单元，专为半导体器件 I-V、PL、EL 等测试设计，支持 4 探针配置，移动分辨率 0.01mm，适配超高真空环境，可扩展冷热台与气体引入功能，满足多种测试场景需求。
产品型号：4 探针厂商性质：经销商更新时间：2026-05-13访 问 量：22
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日本 KITANO 超高真空半导体探针设备 日本 KITANO 超高真空半导体探针设备
多探针配置与高精度驱动：最多支持 4 根探针同时工作，前后移动量 ±6.5mm，倾斜角度 6 度，移动分辨率达 0.01mm，确保探针定位精准。
超高真空环境适配：采用标准 ICF-152 顶法兰，可在超高真空环境下稳定运行，满足真空工艺与器件测试的洁净环境要求。
多功能测试扩展：支持 TRIAX、BNC、SMA 等多种馈通接口，可测量微小电流；配备观察窗，可通过 CCD 相机观测器件，或引入激光 / 光信号进行光学测试。
灵活的环境控制：可扩展冷却台、加热台及气体 / 湿度引入功能，实现不同温度与环境条件下的器件特性测试。
便捷的操作与集成：空气侧配备 XYZ 移动机构，便于探针操作；标准法兰设计支持设备的轻松扩充、改造与形状变更。
| 项目 | 参数 / 说明 |
|---|---|
| 探针数量 | 4 根 |
| 安装法兰 | 标准 ICF 法兰，可选配 ISO/JIS 法兰 |
| 样品台尺寸 | Φ60mm |
| 探针移动量 | 前后 ±6.5mm，倾斜角度 6° |
| 移动分辨率 | 0.01mm |
| 馈通接口 | TRIAX、BNC、SMA |
| 探针材质 | 钨 |
| 视窗 | 标准科瓦尔材质，可选蓝宝石 / 石英材质 |
| 重量 | 12kg |
| 适配环境 | 超高真空环境 |
半导体器件特性测试：真空环境下的 I-V、PL、EL 等电信号与光学特性测量，如二极管、晶体管、光电器件等。
材料科学研究：半导体材料、薄膜器件的表面与界面特性分析，适配超高真空制备与表征系统。
器件可靠性与环境测试：引入气体、湿度或温度控制，模拟不同工作条件下的器件性能变化。
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