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日本 KITANO（北野精机）束流通量监测仪器日本北野精机束流通量监测器专为 MBE 设备设计，采用微型 B-A 真空计测量分子束强度，支持硒气氛环境使用，配备快门保护机构，安装法兰 ICF070，可测量 10⁻⁷Pa~13Pa 压力，满足超高真空分子束外延工艺的通量监测需求。
产品型号：B-A 真空计厂商性质：经销商更新时间：2026-05-13访 问 量：16
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日本 KITANO（北野精机）束流通量监测仪器 日本 KITANO（北野精机）束流通量监测仪器
专业级真空测量：采用佳能阿内尔巴微型 B-A 真空计，测量范围覆盖 10⁻⁷Pa~13Pa，灵敏度 0.045Pa⁻¹，满足分子束强度监测的精度要求。
环境适应性强：内部部件采用无铜材质，支持硒气氛环境使用；最高烘烤温度达 200℃（不含连接器部分），适配超高真空腔体的烘烤工艺。
快门保护设计：配备筒型快门机构，可在非测量时通过大气侧杠杆操作保护真空计，延长传感器使用寿命。
灵活的安装与扩展：采用 ICF070 标准法兰安装，测量位置（L 尺寸）可定制，支持测量值模拟量输出，便于集成到不同型号的 MBE 设备中。
低放气设计：关键部件经电解抛光处理，降低气体释放，减少对超高真空环境的污染。
| 项目 | 参数 / 说明 |
|---|---|
| 安装法兰 | ICF070 |
| 传感器类型 | 微型 B-A 真空计 |
| 最高烘烤温度 | 200℃（不含连接器部分） |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹Pa·m³/sec |
| 测量压力范围 | 10⁻⁷Pa ~ 13Pa |
| 量程灵敏度 | 0.045Pa⁻¹ |
| 快门机构 | 手动杠杆驱动筒型快门，保护真空计 |
| 适配环境 | 超高真空、硒气氛环境 |
分子束外延（MBE）工艺：半导体薄膜外延生长过程中，分子束强度的实时监测与控制。
超高真空设备配套：需要真空度监测的超高真空腔体，尤其适配含硒气氛的实验环境。
材料科学研究：分子束沉积、薄膜生长等真空工艺的过程监控与参数优化。
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