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日本 MSA Factory PH224 真空高速干燥仪器PH224 Light 系列是 MSA Factory 推出的经济型真空高速干燥箱，专为晶圆、薄片工件设计，最高温度 200℃，真空度可达 500Pa，支持自动 / 手动真空控制，实现低温、短时间干燥处理，性价比突出。
产品型号：PH224S-120、PH224S-200厂商性质：经销商更新时间：2026-05-18访 问 量：20
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日本 MSA Factory PH224 真空高速干燥仪器 日本 MSA Factory PH224 真空高速干燥仪器
高效真空干燥工艺：针对小型、晶圆状、薄型工件优化，可在低温条件下实现短时间干燥处理，相比传统烘箱效率更高。
宽规格配置选择：提供 120×120mm 和 200×200mm 两种板材尺寸，以及自动真空热室（S 型）和手动阀操作（D 型）两种机型，适配不同工艺需求。
快速升温与均匀加热：采用热板加热技术，实现温度均匀分布，顶部设置观察窗，方便工艺过程监控。
高性价比设计：简化机身结构，配合专用控制器即可构建真空干燥工艺，成本仅需 100 万日元级别，降低设备投入门槛。
| 项目 | 参数详情 |
|---|---|
| 系列型号 | PH224S-120/200（自动型）、PH224D-120/200（手动型） |
| 最高工作温度 | 200℃ |
| 极限真空度 | 500Pa |
| 加热板尺寸 | 120×120mm / 200×200mm |
| 板材材质 | 铝合金 |
| 电源电压 | AC100V |
| 控制器 | 自动型：PCC118-HV 触摸屏控制器；手动型：PCC107/100/110-FL 系列控制器 |
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