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日本 MSA Factory 真空压力控制仪器PGV 系列是 MSA Factory 推出的高精度真空压力控制系统,采用高速 PID 控制技术,可实现 1Pa 级稳定压力调节,支持室温至 80℃控温(部分型号),腔室尺寸多样,适用于减压干燥、成膜处理、压力传感器评估等场景。
产品型号:PGV3010、PGV3010-P
厂商性质:经销商
更新时间:2026-05-18
访 问 量:17
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日本 MSA Factory 真空压力控制仪器 日本 MSA Factory 真空压力控制仪器
高精度压力控制:通过高速 PID 控制与精密压力监测器,实现 1Pa 单位的稳定压力调节,满足严苛工艺的压力精度需求。
宽温度范围配置:部分型号(PGV3010-P)支持 - 10℃~+80℃温度控制,配合高温加热板技术,最高温度可达 800℃,适配高低温真空工艺。
多样腔室规格:提供不同腔室尺寸(如 100×100×50mm、75×75×10mm),满足不同工件的处理需求,支持定制化设计。
丰富功能与安全配置:可选配燃气泄漏检测、异常压力检测、过温监控等安全功能,控制器支持配方管理、程序运行,操作便捷且安全可靠。
| 项目 | 参数详情 |
|---|---|
| 系列型号 | PGV3010(无温控)、PGV3010-P(-10~+80℃)、PCC118V-Cont 控制器 |
| 压力控制范围 | 10~101300Pa / 90000~110000Pa(依型号) |
| 腔室尺寸 | 100×100×50mm / 75×75×10mm |
| 最高温度 | 800℃(高温加热板规格) /-10~+80℃(珀尔帖温控型) |
| 电源电压 | AC100V |
| 控制方式 | 触摸屏式 PID 控制,支持配方管理与程序运行 |
减压干燥与 VOC 处理工艺
薄膜沉积、成膜处理等真空工艺
压力传感器的性能评估与校准
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