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Hisol 低噪声探针台高温夹具设备Hisol HA/HA-H 系列通用高温晶圆夹具，专为半导体晶圆高温测试设计，控温范围室温～+200℃/300℃，支持 4-8 英寸晶圆，可选标准同轴或低噪声三轴型，支持器件背面偏压施加，适配探针台高温测试场景。
产品型号：HA/HA-H 系列厂商性质：经销商更新时间：2026-05-26访 问 量：17
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Hisol 低噪声探针台高温夹具设备 Hisol 低噪声探针台高温夹具设备
双温度规格，覆盖中高温测试需求
提供室温～+200℃的 HA 系列与室温～+300℃的 HA-H 系列，可满足不同温度等级的器件高温测试需求。
低噪声加热设计，保障测试精度
采用串联式直流电源作为加热器电源，具有低噪声特性，可降低测试干扰，保障弱信号测试数据的准确性。
多晶圆尺寸适配，双类型可选
支持 4/6/8 英寸晶圆，可选择标准型（同轴）或适用于低噪声、低漏电测量的三轴型，适配常规测试与高精度弱信号测试场景。
灵活冷却方式，适配不同工况
冷却方式支持自然冷却或压缩空气供应，可根据测试需求与现场条件灵活选择。
支持偏压施加与垂直器件测量
可实现对背栅等器件背面施加偏压，并支持垂直型器件的测量，为器件电学特性测试提供灵活的配置能力。
4-8 英寸半导体晶圆的高温电学特性测试
探针台设备的高温测试卡盘配件
低噪声、低漏电器件的高温高精度测试场景
背栅器件、垂直器件的高温偏压施加与性能验证
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