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Hisol 低噪声低漏电室温晶圆夹具设备Hisol HC/HTC 系列室温晶圆夹具，专为半导体晶圆室温测试设计，提供标准同轴 HC 系列与低噪声三轴 HTC 系列，支持 2-12 英寸晶圆，可实现器件背面偏压施加与垂直器件测量，适配探针台测试场景。
产品型号：HC/HTC 系列厂商性质：经销商更新时间：2026-05-26访 问 量：13
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Hisol 低噪声低漏电室温晶圆夹具设备 Hisol 低噪声低漏电室温晶圆夹具设备
双系列设计，适配不同测试需求
提供标准同轴型 HC 系列，以及适用于低噪声、低漏电测量的三轴型 HTC 系列，可满足常规测试与高精度弱信号测试的不同需求。
全尺寸晶圆适配
型号覆盖 2 英寸至 12 英寸晶圆（HC20/40/60/80/120、HTC20/40/60/80/120），可适配主流晶圆规格，满足不同尺寸器件的测试需求。
支持偏压施加与垂直器件测量
可实现对背栅等器件背面施加偏压，并支持垂直器件的测量，为器件电学特性测试提供灵活的配置能力。
高稳定性与低干扰设计
三轴系列采用低噪声、低漏电设计，有效降低测试干扰，保障弱信号测试数据的准确性与稳定性。
2-12 英寸半导体晶圆的室温电学特性测试
探针台设备的标准测试卡盘配件
低噪声、低漏电器件的高精度测试场景
背栅器件、垂直器件的偏压施加与性能验证
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