热门搜索：日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机
深圳秋山工业设备有限公司 全国咨询热线：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
日本 HORIBA 堀场 低流量溶解氧监测仪器日本 HORIBA 堀场 HD-960L 是专为半导体湿法工艺设计的低流量溶解氧监测仪，支持 μg/L 到 mg/L 量程自动切换，可在含 HF 溶液中稳定工作，支持 15ml/min 流量测量，广泛应用于晶圆清洗等工艺的 DO 浓度监测。
产品型号：HD-960L厂商性质：经销商更新时间：2026-05-29访 问 量：11
立即咨询
联系电话：13823182047
日本 HORIBA 堀场 低流量溶解氧监测仪器 日本 HORIBA 堀场 低流量溶解氧监测仪器
宽量程自动切换
可自动切换三个测量量程（0.0-200.0μg/L、200-2000μg/L、2.00-20.00mg/L），始终以最佳分辨率进行测量，满足不同工艺阶段的需求。
低流量样品兼容
支持最小 15ml/min 的样品流量测量，适配半导体工艺中低流量药液的监测场景。
强抗腐蚀能力
传感器单元可耐受最高 5000ppm 的 HF 浓度，专为含的湿法工艺设计。
简易校正与维护
配备电气零点校正、气体零点和量程校正功能，操作便捷，降低维护难度。
丰富的通讯与输出接口
支持 4-20mA 模拟输出（4 点）、接点输出（4 点）和 RS-485 通讯，方便数据传输与设备联动，集成到工厂自动化系统中。
| 参数项 | 规格详情 |
|---|---|
| 型号 | HD-960L |
| 测量范围 | 0.0-200.0μg/L、200-2000μg/L、2.00-20.00mg/L |
| 重复性精度 | ±1% FS |
| 样品条件 | 压力 0-0.1MPa，流量 15-200ml/min，温度 10-45℃ |
| 抗 HF 浓度 | 0-5000ppm |
| 电源规格 | DC24V ±10%，15W |
| 配套传感器 | DO-100 传感器单元，#5600 传感器 |
| 样品管路 | Φ1/4 英寸 PFA 管 |
半导体制造行业：晶圆厂湿法清洗、蚀刻工艺中，含 HF 溶液或纯水中的溶解氧浓度在线监测，确保工艺稳定性与产品良率。
超纯水系统：低流量超纯水回路中的溶解氧监测，满足半导体级水质要求。
您的位置：
