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日本 HORIBA 堀场 光纤式药液浓度监测仪器日本 HORIBA 堀场 CS-630FD 是专为低浓度药液管理设计的光纤式浓度监测仪，采用中紫外波长范围和吸收分光法，可在 ppm 级别实时测量低浓度 SC-1 溶液（氨水），支持多药液测量，广泛应用于半导体湿法工艺。
产品型号：CS-630FD厂商性质：经销商更新时间：2026-05-29访 问 量：9
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日本 HORIBA 堀场 光纤式药液浓度监测仪器 日本 HORIBA 堀场 光纤式药液浓度监测仪器
低浓度药液高精度测量
采用中紫外波长范围，即使在低浓度区域也能实现高精度测量，可对低浓度 NH₃、低浓度 SC-1 溶液（氨水 - 水溶液）等功能水的浓度变化进行 ppm 级实时监测。
多药液 / 量程兼容
一台显示器最多可测量 6 种药液（或量程），可自由指定测量的药液种类或量程，满足多种工艺场景的测量需求。
优良的测量技术
基于吸收分光法和多变量解析法，确保测量结果的准确性和稳定性，测量间隔仅为 3 秒，可快速响应工艺变化。
丰富的接口与配置
配备 DC 24V 供电、RS-232C 通讯接口、传送出力和接点出力，方便数据传输与设备联动，集成到工厂自动化系统中。
| 参数项 | 规格详情 |
|---|---|
| 型号 | CS-630FD |
| 测量原理 | 吸收分光法 |
| 浓度计算原理 | 多变量解析法 |
| 测量对象 | 低浓度 SC-1 溶液（氨水水溶液） |
| 测量范围（NH₃） | 0.0-30.0 ppm |
| 测量范围（H₂O₂） | 0.0-100.0 ppm |
| 重复性精度 | ±5.0 ppm（NH₃、H₂O₂） |
| 测量间隔 | 3 秒 |
| 移动平均 | 16 次 |
| 电源 | 100~240 V AC（单相），50/60 Hz |
| 功耗 | 约 85 VA |
| 通信接口 | 并行 I/O、RS-232C、模拟输出 |
| 工作温度 | 20~30℃（显示器 / 光源单元）；20~35℃（光纤） |
半导体制造行业：晶圆厂湿法工艺中，低浓度 SC-1 清洗液、功能水的在线浓度监测，确保工艺稳定性与清洗效果。
电子元件制造行业：类似的低浓度酸性 / 碱性湿法处理工艺中，对药液浓度的实时监测与控制。
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