日本 UNIOPT 半导体晶圆晶体缺陷检测仪

日本 UNIOPT 半导体晶圆晶体缺陷检测仪 日本 UNIOPT 半导体晶圆晶体缺陷检测仪

1. 品牌简介

ユニオプト株式会社（UNIOPT），日本专业光学测量设备厂商，核心标语Light as the measurement probe，依托多波段激光、Schlieren 纹影光学技术，面向光学元件、半导体、流体实验提供高精度可视化检测设备。

2. 产品概述

UMY-10 脉理观察器采用施利伦（Schlieren）纹影光学法，搭配高灵敏工业相机、10 倍变焦镜头、超高亮度白光 LED 光源，可直观捕捉透明材料局部折射率紊乱（脉理），画面实时输出至显示器，无需专业培训即可完成高灵敏度无损检测；配套立式铝型材机架，视野 Φ75mm，适配光学元件、半导体晶圆、气流流体观测多场景。

3. 完整硬件核心参数

表格

项目参数规格

光学原理Schlieren 施利伦纹影法

成像相机高灵敏度工业相机

镜头10 倍变焦镜头

照明光源超高辉度白色 LED 光源

有效视野Φ75mm

整机结构立式铝型材升降机架，台面式载物平台

观测输出实时显示器成像

4. 同系列机型区分

UMY-10：标准立式垂直光路，常规平板透明件、晶圆检测；

UMY-20：光轴水平型，搭配专用治具，曲面镜片无需浸液法，观测操作更简便。

四、可观测检测对象（脉理定义）

脉理：玻璃等透明介质局部折射率突变区域，设备可检出以下缺陷 / 现象：

光学玻璃内部脉理、表面划伤、研磨不均（柚子皮纹理）；

气体气流折射率扰动：喷涂喷嘴出气气流、风道紊流、空气对流可视化；

化合物半导体晶圆内部晶体缺陷；

曲面透镜类工件：可采用折射率匹配浸液法消除曲面干扰完成观测；UMY-20 水平款可免浸液简易检测曲面镜片。

五、四大核心产品优势

1. Schlieren 纹影高灵敏成像，微小折射率缺陷可视化

肉眼无法分辨的细微折射率紊乱直接成像，检出精度覆盖光学加工、半导体晶圆微观缺陷。

2. 操作门槛低，无需专业检测培训

一体化光学光路 + 显示器实时成像，普通操作员即可完成批量巡检，降低人工培训成本。

3. 一机多用途，固体 / 流体双向观测

兼顾固体透明件缺陷质检、流体气流可视化实验，实验室与产线通用。

4. 大视野 Φ75mm，适配中大尺寸工件

单次观测覆盖大范围样品，减少多次移动载台，提升批量检测效率。

六、三大应用领域

光学行业：光学玻璃、透镜、棱镜脉理、划痕、研磨不良全检；

半导体行业：化合物半导体晶圆晶体缺陷无损筛查；

流体实验室：气流、喷涂气流、风道紊流可视化观测实验。