日本 HORIBA 电容式真空压力计真空变送器

日本 HORIBA 电容式真空压力计真空变送器 日本 HORIBA 电容式真空压力计真空变送器

1. 产品概述

VG 系列电容式真空压力计是 HORIBA 面向精密真空工艺推出的电容薄膜绝对压力变送器。依靠隔膜形变改变电容值测量绝对真空，测量结果几乎不受气体种类影响；隔膜材质 SUS316L，具备良好耐腐蚀性。

分为两大规格：VG-211S 常温环境型；VG-221S 内置恒温加热模块（55℃/100℃可选），大幅降低温漂，适合水汽、易冷凝气体工况，广泛应用半导体制程、医药冻干、食品灭菌、镀膜 PV 等真空生产线。

2. 详细规格参数

表格

参数项目VG-211SVG-221S

满量程档位133.32 Pa / 1.3332 kPa / 13.332 kPa / 133.32 kPa133.32 Pa / 1.3332 kPa / 13.332 kPa / 133.32 kPa

传感器工作温度环境温度（25℃基准）恒温 55℃ / 100℃可选

精度规格0.5% R.S. / 0.25% R.S.0.5% R.S. / 0.25% R.S.

分辨率0.03% F.S. / 0.01% F.S.0.03% F.S. / 0.01% F.S.

零温度系数0.01%FS/℃ / 0.005%FS/℃0.005%FS/℃ / 0.0025%FS/℃

量程温度系数0.05%R.S./℃ / 0.03%R.S./℃0.03%R.S./℃ / 0.02%R.S./℃

响应时间＜60ms＜60ms

整机环境温度10～50℃10～50℃

介质接触材质SUS316L 不锈钢隔膜SUS316L 不锈钢隔膜

供电规格±15VDC 或 24VDC±15VDC 或 24VDC

特色功能一键调零微型自加热恒温、一键调零

合规标准CE、RoHSCE、RoHS

3. 产品核心亮点

✅ 电容式测量原理，气体依赖性极低

区别于热传导真空规，测量结果基本不受气体组分影响，多种工艺气体下数据一致性优秀。

✅ 双版本选型，适配干湿工况

VG-211S 常温经济型；VG-221S 恒温加热款，抑制水汽冷凝、减少温度漂移，适合冻干、湿热灭菌场景。

✅ 优异温度稳定性

VG-221S 极低零漂与量程温漂，长时间连续工艺运行压力数据稳定。

✅ SUS316L 隔膜，耐多种腐蚀工艺气体

耐受水汽、弱酸弱碱蒸汽，医药、食品、湿法真空工序使用寿命更长。

✅ 高速响应＜60ms

可捕捉真空工艺快速压力波动，满足闭环制程控制要求。

✅ 多量程可选，覆盖中低真空区间

从百帕到大气压宽区间可选，适配粗真空、低真空各类工艺段。

✅ 自带一键调零功能

现场校准便捷，降低维护难度。

✅ 符合 CE、RoHS 工业标准

可直接出口设备配套，满足海内外设备整机认证要求。

4. 典型应用场景

半导体 / FPD / 光伏镀膜：溅射、沉积工艺腔体真空监测；

制药行业：冷冻干燥机真空度在线监控；

食品饮料行业：高压灭菌、真空包装生产线压力监测；

涂层、HDD 存储器件真空制造工序；

实验室真空腔体、通用中低真空设备压力采集。